Сортировать по:
| Выпуск | Название | |
| № 1 (2011) | МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, А. Н. Петлицкий, В. А. Горушко, С. В. Шведов, В. В. Понарядов | ||
| "... by one of the wafer diameters it is possible to determine its bend profile. ..." | ||
| № 2 (2012) | ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Минченко, Г. Ф. Ковальчук, С. Б. Школык | ||
| "... with automatic sensing of LSI wafer are discussed. ..." | ||
| Том 14, № 3 (2023) | Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, К. В. Пантелеев | ||
| "... Non-contact electrical methods are widely used for research and control of semiconductor wafers ..." | ||
| Том 14, № 4 (2023) | Влияние температуры от 20 до 100 °С на удельную поверхностную энергию и вязкость разрушения пластин кремния | Аннотация похожие документы |
| В. А. Лапицкая, Т. А. Кузнецова, С. А. Чижик | ||
| "... and fracture toughness of standard silicon wafers of three orientations (100), (110) and (111) was studied ..." | ||
| № 2 (2014) | РЕЖИМ САМОКАЛИБРОВКИ ЗОНДА КЕЛЬВИНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский | ||
| "... Improvement of repeatability and reliability of semiconductor wafers properties monitoring ..." | ||
| Том 15, № 2 (2024) | Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский, В. А. Солодуха | ||
| "... Presently it is important to remove mechanically disturbed layer on wafer surface during creation ..." | ||
| № 2 (2013) | КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
| "... of a silicon-insulator structure. Experiments were held using a thermally oxidized boron-doped silicon wafer ..." | ||
| № 2 (2013) | КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
| "... of a silicon-insulator structure. Experiments were held using a thermally oxidized boron-doped silicon wafer ..." | ||
| Том 13, № 3 (2022) | Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики | Аннотация похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко, Д. В. Шестовский | ||
| "... of influence of the rapid thermal treatment of the initial silicon wafers of the various doping level ..." | ||
| № 1 (2013) | КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. А. Чижик, С. П. Басалаев, В. А. Пилипенко, А. Л. Худолей, Т. А. Кузнецова, В. В. Чикунов, А. А. Суслов | ||
| "... SPM 200 realizes nondestructive control of microelectronics elements made on silicon wafers up ..." | ||
| Том 8, № 4 (2017) | ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА КРЕМНИЙ-ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ ЭЛЕКТРОМЕТРИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Филипеня, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
| "... of methods for nondestructive testing of semiconductor wafers based on the determination of electrophysical ..." | ||
| Том 15, № 4 (2024) | Тонкоплёночная технология корпусирования микроэлектромеханических систем на основе каркасной структуры | Аннотация похожие документы |
| Е. С. Барбин, И. В. Кулинич, Т. Г. Нестеренко, А. Н. Коледа, Е. В. Шестериков, П. Ф. Баранов, Д. П. Ильященко | ||
| "... новая технология упаковки на уровне пластины полностью совместима с технологией производства МЭМС без ..." | ||
| Том 9, № 4 (2018) | Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика полупроводниковых приборов | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Г. Г. Чигирь, В. А. Филипеня, В. А. Горушко | ||
| "... of the initial silicon wafers and gate dielectric on its reliability. The paper proposes a model for evaluation ..." | ||
| Том 9, № 1 (2018) | ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. Ф. Сенько, В. А. Зеленин | ||
| "... The effect of non-flatness of semiconductor wafers on characteristics of manufactured devices ..." | ||
| Том 12, № 2 (2021) | Приборный ряд фотоэлектрических преобразователей на основе полупроводников с собственной фотопроводимостью | Аннотация похожие документы |
| Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский, Л. И. Шадурская | ||
| "... фотоэлектрических преобразователей на основе полупроводников с собственной фотопроводимостью, слабо легированных ..." | ||
| Том 12, № 3 (2021) | Низкочастотный адмиттанс конденсатора с рабочим веществом «изолятор – частично разупорядоченный полупроводник – изолятор» | Аннотация похожие документы |
| Н. А. Поклонский, И. И. Аникеев, С. А. Вырко | ||
| "... Исследование электрофизических характеристик кристаллических полупроводников с дефектами структуры ..." | ||
| Том 6, № 1 (2015) | АНАЛИЗ КАЧЕСТВА ПОДЗАТВОРНОГО ДИЭЛЕКТРИКА МОП-СТРУКТУР ПО ВОЛЬТ-ФАРАДНЫМ ХАРАКТЕРИСТИКАМ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. Б. Оджаев, А. Н. Петлицкий, В. С. Просолович, В. А. Филипеня, С. В. Шведов, В. В. Черный, В. Ю. Явид, Ю. Н. Янковский | ||
| "... of the wafers in process of the devices fabrication, which makes it possible to make a conclusion about ..." | ||
| Том 12, № 1 (2021) | Схема элемента Пельтье на полупроводниках с прыжковым переносом электронов по дефектам | Аннотация похожие документы |
| Н. А. Поклонский, С. А. Вырко, А. И. Ковалев, И. И. Аникеев, Н. И. Горбачук | ||
| "... Исследование термоэлектрических свойств кристаллических полупроводников с дефектами структуры ..." | ||
| № 2 (2013) | ИЗМЕРИТЕЛЬ ТЕРМИЧЕСКОГО КОЭФФИЦИЕНТА ОПТИЧЕСКОГО ПУТИ ЛАЗЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| П. А. Лойко, А. М. Маляревич, К. В. Юмашев | ||
| "... Разработан прибор для измерения термического коэффициента оптического пути W лазерных материалов ..." | ||
| Том 14, № 1 (2023) | Исследование сложения лазерных пучков в кольцевой волоконно-оптической линии задержки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| М. Р. Зарипов, В. А. Алексеев, А. И. Кириллов, А. В. Офицерова | ||
| "... Широкое распространение в настоящее время автономных лазерных систем предполагает снижение энергии ..." | ||
| Том 14, № 3 (2023) | Использование многозондового модулированного лазерного излучения для идентификации сгустков веществ в потоке жидкости | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Алексеев, С. И. Юран, В. П. Усольцев, Д. Н. Шульмин | ||
| "... используют лазерные системы зондирования жидкости. При этом, как правило, используются лабораторные анализы ..." | ||
| № 1 (2012) | РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ НОВОЙ КОНСТРУКЦИИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ЗАДВИЖКИ ЛАЗЕРНОГО ЛУЧА | Аннотация похожие документы |
| А. Бубулис, В. Юренас, В. Мачюкене, С. Навицкайте | ||
| "... Представлены результаты экспериментальных исследований динамики заслонки лазерного луча с ..." | ||
| Том 6, № 1 (2015) | КОМПЛЕКС ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ ФОТОМЕТРИЧЕСКИХ, РАДИОМЕТРИЧЕСКИХ, СПЕКТРОРАДИОМЕТРИЧЕСКИХ И ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ИЗЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРНЫХ ДИОДОВ И СВЕТОДИОДОВ В СПЕКТРАЛЬНОМ ДИАПАЗОНЕ ОТ 250 ДО 900 НМ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| С. В. Никоненко, Е. В. Луценко, А. В. Данильчик, В. А. Длугунович, В. А. Ждановский, А. В. Крейдич, А. А. Липлянин, М. В. Ржеуцкий | ||
| "... светодиодов и лазерных диодов, пространственного распределения силы света и плотности мощности излучения ..." | ||
| Том 6, № 1 (2015) | ВЛИЯНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ИЗЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРОВ НА ТОЧНОСТЬ КАЛИБРОВКИ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Длугунович, А. В. Исаевич, Е. А. Круплевич, Л. Н. Насенник | ||
| "... в состав комплекса установок для калибровки средств измерений мощности и энергии лазерного излучения ..." | ||
| Том 14, № 2 (2023) | Проект автономного микрокатера с лазерным устройством для оценки загрязнения микропластиком акватории водоёмов | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
| В. А. Алексеев, С. И. Юран, М. Р. Зарипов, В. П. Усольцев | ||
| "... водоёма, с передачей данных исследований в центр обработки информации. Аппарат производит лазерное ..." | ||
| 1 - 25 из 103 результатов | 1 2 3 4 5 > >> | |
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)
