Для цитирования:

Пилипенко В.А., Петлицкий А.Н., Горушко В.А., Шведов С.В., Понарядов В.В. МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН. Приборы и методы измерений. 2011;(1):71-76.

For citation:

Pilipenko V.A., Petlitsky A.N., Gorushko V.A., Shvedov S.V., Ponaryadov V.V. METHOD AND CONTROL SET-UP OF SILICON WAFER FLATNESS. Devices and Methods of Measurements. 2011;(1):71-76. (In Russ.)