Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Пилипенко В.А., Петлицкий А.Н., Горушко В.А., Шведов С.В., Понарядов В.В. МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН. Приборы и методы измерений. 2011;(1):71-76.

For citation:


Pilipenko V.A., Petlitsky A.N., Gorushko V.A., Shvedov S.V., Ponaryadov V.V. METHOD AND CONTROL SET-UP OF SILICON WAFER FLATNESS. Devices and Methods of Measurements. 2011;(1):71-76. (In Russ.)

Просмотров: 475


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)