Для цитирования:

Солодуха В.А., Пилипенко В.А., Чигирь Г.Г., Филипеня В.А., Горушко В.А. Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика полупроводниковых приборов. Приборы и методы измерений. 2018;9(4):308-313. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-4-308-313

For citation:

Solodukha V.A., Chigir G.G., Pilipenko V.A., Filipenya V.A., Gorushko V.A. Reliability Express Control of the Gate Dielectric of Semiconductor Devices. Devices and Methods of Measurements. 2018;9(4):308-313. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-4-308-313