КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Аннотация
Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикроэлектроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой микроскопии, разработан и изготовлен сканирующий зондовый микроскоп. Комплекс внедрен для промышленного неразрушающего контроля субмикроэлектроники, выполненной на кремниевых пластинах диаметром до 200 мм, с целью осуществления операционного контроля, метрологических измерений и приемки качества готовой продукции.
Об авторах
С. А. Чижик
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
С. П. Басалаев
ОАО «Оптоэлектронные системы», г. Минск
Беларусь
Беларусь
В. А. Пилипенко
НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл», г. Минск
Беларусь
Беларусь
А. Л. Худолей
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
Т. А. Кузнецова
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
В. В. Чикунов
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
А. А. Суслов
ОДО «Микротестмашины», г. Гомель
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом: пат. 2244332 РФ, МПК G02B21/00 / А.В. Беляев, В.А. Быков, С.А. Саунин, Л.Г. Фюрст. – № 2002121274/28; заявл. 13.08.2002; опубл. 10.01.2005.
2. Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер, совмещенный с оптической системой линейных измерений: пат. на полезную модель 96429 РФ, МПК G01N3/42, G01N3/48 / К.В. Гоголинский [и др.]. – № 2010110686/22; заявл. 23.03.2010; опубл. 27.07.2010.
3. Scanning Probe Microscopy Special Issue // Microscopy and Analysis. – 2011. – No 133. – P. 25–34.
4. Пилипенко, В.А. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии / В.А. Пилипенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: сб. докл. VII Междунар. семинара, Минск, 1–3 нояб. 2006 г. – Минск : Ин-т тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2006. – С. 108–114.
Рецензия
Для цитирования:
Чижик С.А., Басалаев С.П., Пилипенко В.А., Худолей А.Л., Кузнецова Т.А., Чикунов В.В., Суслов А.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ. Приборы и методы измерений. 2013;(1):14-18.
For citation:
Chizhik S.A., Basalaev S.P., Pilipenko V.A., Khudoley A.L., Kuznetsova T.A., Chikunov V.V., Suslov A.A. EQUIPMENT FOR NONDESTRUCTIVE TESTING OF SILICON WAFERS SUBMICRON TOPOLOGY DURING THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS. Devices and Methods of Measurements. 2013;(1):14-18. (In Russ.)
Просмотров:
1032
Послать статью по эл. почте 