Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Полный текст:

Аннотация

Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикроэлектроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой микроскопии, разработан и изготовлен сканирующий зондовый микроскоп. Комплекс внедрен для промышленного неразрушающего контроля субмикроэлектроники, выполненной на кремниевых  пластинах диаметром  до  200 мм, с целью осуществления  операционного контроля, метрологических измерений и приемки качества готовой продукции.

Об авторах

С. А. Чижик
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь


С. П. Басалаев
ОАО «Оптоэлектронные системы», г. Минск
Беларусь


В. А. Пилипенко
НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл», г. Минск
Беларусь


А. Л. Худолей
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь


Т. А. Кузнецова
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь


В. В. Чикунов
Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Беларусь


А. А. Суслов
ОДО «Микротестмашины», г. Гомель
Беларусь


Список литературы

1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом: пат. 2244332 РФ, МПК G02B21/00 / А.В. Беляев, В.А. Быков, С.А. Саунин, Л.Г. Фюрст. – № 2002121274/28; заявл. 13.08.2002; опубл. 10.01.2005.

2. Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер, совмещенный с оптической системой линейных измерений: пат. на полезную модель 96429 РФ, МПК G01N3/42, G01N3/48 / К.В. Гоголинский [и др.]. – № 2010110686/22; заявл. 23.03.2010; опубл. 27.07.2010.

3. Scanning Probe Microscopy Special Issue // Microscopy and Analysis. – 2011. – No 133. – P. 25–34.

4. Пилипенко, В.А. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии / В.А. Пилипенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: сб. докл. VII Междунар. семинара, Минск, 1–3 нояб. 2006 г. – Минск : Ин-т тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2006. – С. 108–114.


Для цитирования:


Чижик С.А., Басалаев С.П., Пилипенко В.А., Худолей А.Л., Кузнецова Т.А., Чикунов В.В., Суслов А.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ. Приборы и методы измерений. 2013;(1):14-18.

For citation:


Chizhik S.A., Basalaev S.P., Pilipenko V.A., Khudoley A.L., Kuznetsova T.A., Chikunov V.V., Suslov A.A. EQUIPMENT FOR NONDESTRUCTIVE TESTING OF SILICON WAFERS SUBMICRON TOPOLOGY DURING THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS. Devices and Methods of Measurements. 2013;(1):14-18. (In Russ.)

Просмотров: 579


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)