Для цитирования:

Сенько С.Ф., Зеленин В.А. ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР. Приборы и методы измерений. 2018;9(1):74-84. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-1-74-84

For citation:

Sianko S.F., Zelenin V.A. ESTIMATION OF TOPOGRAPHIC DEFECTS DIMENSIONS OF SEMICONDUCTOR SILICON STRUCTURES. Devices and Methods of Measurements. 2018;9(1):74-84. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-1-74-84