Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Сенько С.Ф., Зеленин В.А. ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР. Приборы и методы измерений. 2018;9(1):74-84. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-1-74-84

For citation:


Sianko S.F., Zelenin V.A. ESTIMATION OF TOPOGRAPHIC DEFECTS DIMENSIONS OF SEMICONDUCTOR SILICON STRUCTURES. Devices and Methods of Measurements. 2018;9(1):74-84. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-1-74-84

Просмотров: 313


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)