Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Пилипенко В.А., Сергейчик А.А., Шестовский Д.В., Солодуха В.А. Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки. Приборы и методы измерений. 2024;15(2):142-150. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-2-142-150

For citation:


Pilipenko U.A., Sergeichik A.A., Shestovski D.V., Solodukha V.A. Structure of Silicon Wafers Planar Surface before and after Rapid Thermal Treatment. Devices and Methods of Measurements. 2024;15(2):142-150. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-2-142-150

Просмотров PDF (Rus): 141


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)