Для цитирования:

Чижик С.А., Басалаев С.П., Пилипенко В.А., Худолей А.Л., Кузнецова Т.А., Чикунов В.В., Суслов А.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ. Приборы и методы измерений. 2013;(1):14-18.

For citation:

Chizhik S.A., Basalaev S.P., Pilipenko V.A., Khudoley A.L., Kuznetsova T.A., Chikunov V.V., Suslov A.A. EQUIPMENT FOR NONDESTRUCTIVE TESTING OF SILICON WAFERS SUBMICRON TOPOLOGY DURING THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS. Devices and Methods of Measurements. 2013;(1):14-18. (In Russ.)