Для цитирования:

Минченко В.А., Ковальчук Г.Ф., Школык С.Б. ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ. Приборы и методы измерений. 2012;(2):67-75.

For citation:

Minchenko V.A., Kovalchuk G.F., Shkolyk S.B. DESIGN PRINCIPLES AND BLOCK SCHEMES OF THE PROBE AUTOMATIC INSPECTION SYSTEMS FOR MICROAND NANOELECTRONICS ON A WAFER. Devices and Methods of Measurements. 2012;(2):67-75. (In Russ.)