Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
№ 2 (2014) РЕЖИМ САМОКАЛИБРОВКИ ЗОНДА КЕЛЬВИНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский
"... with a probe charge-sensitive methods is achieved by realization of Kelvin probe self-calibration mode using ..."
 
Том 14, № 3 (2023) Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, К. В. Пантелеев
"... semiconductor wafers during production. The results of testing the developed probe electrometer in CPD, SPV ..."
 
Том 8, № 4 (2017) ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА КРЕМНИЙ-ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ ЭЛЕКТРОМЕТРИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Филипеня, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... of probe electrometry methods, and particularly scanning Kelvin probe method, in the interoperational ..."
 
№ 2 (2013) КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... visualization technique based on Kelvin–Ziesman technique to the non-destructive testing and defects study ..."
 
№ 2 (2013) КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... visualization technique based on Kelvin–Ziesman technique to the non-destructive testing and defects study ..."
 
№ 1 (2014) МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАЗИТНОЙ ЕМКОСТИ И НАВОДОК НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ ЗОНДА КЕЛЬВИНА Аннотация  похожие документы
С. Дэнилак, А. В. Дубаневич, О. К. Гусев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский, Р. И. Воробей, А. Л. Жарин
"... Stray capacitance effects and their influence on Kelvin probe’s performance are studied using ..."
 
№ 2 (2012) ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Минченко, Г. Ф. Ковальчук, С. Б. Школык
"... In this work we suggested the principles of design and block schemes of probe systems ..."
 
№ 2 (2013) КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА ПРИ УМЕНЬШЕНИИ РАЗМЕРОВ ЗОНДА КЕЛЬВИНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. К. Тявловский, А. Л. Жарин
"... scanning Kelvin probe leads to high distortion factor of probe’s measurement signal that in turn leads ..."
 
№ 1 (2012) МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИСТАНЦИОННОЙ ЗАВИСИМОСТИ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. К. Тявловский
"... A mathematical model of cylindrical shaped plane-ended scanning Kelvin probe output signal ..."
 
Том 8, № 1 (2017) АНАЛИЗ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ИСХОДНЫХ ПОДЛОЖЕК АЛЮМИНИЯ И ЕГО СПЛАВОВ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. К. Тявловский, А. Л. Жарин, О. К. Гусев, Р. И. Воробей, Н. И. Мухуров, Г. В. Шаронов, К. В. Пантелеев
"... with a scanning Kelvin probe technique. The results of scanning were plotted in a form of contact potential ..."
 
Том 8, № 4 (2017) АНАЛИЗ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОЛИМЕРОВ МОДИФИЦИРОВАННЫМ ЗОНДОМ КЕЛЬВИНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. В. Пантелеев, А. В. Кравцевич, И. А. Ровба, В. И. Лысенко, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин
"... various modifications of a scanning Kelvin probe. These methods allow mapping the spatial distribution ..."
 
Том 7, № 1 (2016) ПОСТРОЕНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕНЦИАЛОВ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. В. Пантелеев, В. А. Микитевич, А. Л. Жарин
"... , such as a Scanning Kelvin Probe, as well as for controlling system of manufacturing processes, e.g. under friction ..."
 
Том 13, № 4 (2022) Зарядочувствительный метод исследования деформационных процессов Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. B. Пантелеев, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин
"... . A scanning modification of a charge-sensitive probe is used as a measuring instrument. The results ..."
 
Том 16, № 1 (2025) Выявление скрытых дефектов алюминиевых подложек для сенсорных устройств после термомеханической обработки с помощью сканирующего зонда Кельвина Аннотация  похожие документы
А. Л. Жарин, И. В. Гасенкова, А. К. Тявловский, Н. И. Мухуров, С. И. Спицкий
"... the quality of this processing using the scanning Kelvin probe technique. The technique applied allows ..."
 
Том 7, № 2 (2016) ЦИФРОВОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕНЦИАЛОВ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, А. Л. Жарин
"... . The speed and the accuracy are essential, for example, for Scanning Kelvin Probes. The purpose of this paper ..."
 
Том 14, № 2 (2023) Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, К. В. Пантелеев, А. В. Самарина, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... an immovable reference electrode are considered. Despite the need to increase the area of the probe compared ..."
 
№ 2 (2014) МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ РАБОТЫ ВЫХОДА ЭЛЕКТРОНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ В ПРОЦЕССЕ ТРЕНИЯ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. Л. Жарин
"... of the friction surface. The techniques of tribological studies using contact potential difference probes ..."
 
Том 14, № 1 (2023) Интеллектуальный сенсор для измерительных систем, работающих по схеме синусоидальное возбуждение – отклик Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Микитевич, А. И. Свистун, А. В. Самарина, К. В. Пантелеев, А. Л. Жарин
"... . This approach has been tested in the development of charge-sensitive surface mapping systems, such as the Kelvin ..."
 
Том 6, № 1 (2015) ДИАГНОСТИКА ЛОКАЛЬНЫХ ИЗМЕНЕНИЙ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ ПО РАБОТЕ ВЫХОДА ЭЛЕКТРОНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. Л. Жарин
"... of their application of localization of plastic deformation studies using the Kelvin probe are developed and present ..."
 
№ 1 (2013) КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. А. Чижик, С. П. Басалаев, В. А. Пилипенко, А. Л. Худолей, Т. А. Кузнецова, В. В. Чикунов, А. А. Суслов
"... in one diagnostic unit. Scanning  probe  microscope  (SPM  200)  is  designed  and  produced.  Complex ..."
 
№ 1 (2011) МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, А. Н. Петлицкий, В. А. Горушко, С. В. Шведов, В. В. Понарядов
"... profile of the semiconductor wafers. It was established, that on the basis of determining the inclination ..."
 
Том 14, № 4 (2023) Влияние температуры от 20 до 100 °С на удельную поверхностную энергию и вязкость разрушения пластин кремния Аннотация  похожие документы
В. А. Лапицкая, Т. А. Кузнецова, С. А. Чижик
"... and fracture toughness of standard silicon wafers of three orientations (100), (110) and (111) was studied ..."
 
Том 15, № 2 (2024) Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский, В. А. Солодуха
"... Presently it is important to remove mechanically disturbed layer on wafer surface during creation ..."
 
Том 13, № 3 (2022) Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики Аннотация  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко, Д. В. Шестовский
"... of influence of the rapid thermal treatment of the initial silicon wafers of the various doping level ..."
 
Том 15, № 4 (2024) Тонкоплёночная технология корпусирования микроэлектромеханических систем на основе каркасной структуры Аннотация  похожие документы
Е. С. Барбин, И. В. Кулинич, Т. Г. Нестеренко, А. Н. Коледа, Е. В. Шестериков, П. Ф. Баранов, Д. П. Ильященко
"... новая технология упаковки на уровне пластины полностью совместима с технологией производства МЭМС без ..."
 
1 - 25 из 68 результатов 1 2 3 > >> 

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)