Сортировать по:
Выпуск | Название | |
№ 2 (2014) | РЕЖИМ САМОКАЛИБРОВКИ ЗОНДА КЕЛЬВИНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский | ||
"... with a probe charge-sensitive methods is achieved by realization of Kelvin probe self-calibration mode using ..." | ||
Том 14, № 3 (2023) | Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, К. В. Пантелеев | ||
"... semiconductor wafers during production. The results of testing the developed probe electrometer in CPD, SPV ..." | ||
Том 8, № 4 (2017) | ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА КРЕМНИЙ-ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ ЭЛЕКТРОМЕТРИИ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Филипеня, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
"... of probe electrometry methods, and particularly scanning Kelvin probe method, in the interoperational ..." | ||
№ 2 (2013) | КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
"... visualization technique based on Kelvin–Ziesman technique to the non-destructive testing and defects study ..." | ||
№ 2 (2013) | КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
"... visualization technique based on Kelvin–Ziesman technique to the non-destructive testing and defects study ..." | ||
№ 1 (2014) | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАЗИТНОЙ ЕМКОСТИ И НАВОДОК НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ ЗОНДА КЕЛЬВИНА | Аннотация похожие документы |
С. Дэнилак, А. В. Дубаневич, О. К. Гусев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский, Р. И. Воробей, А. Л. Жарин | ||
"... Stray capacitance effects and their influence on Kelvin probe’s performance are studied using ..." | ||
№ 2 (2012) | ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Минченко, Г. Ф. Ковальчук, С. Б. Школык | ||
"... In this work we suggested the principles of design and block schemes of probe systems ..." | ||
№ 2 (2013) | КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА ПРИ УМЕНЬШЕНИИ РАЗМЕРОВ ЗОНДА КЕЛЬВИНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. К. Тявловский, А. Л. Жарин | ||
"... scanning Kelvin probe leads to high distortion factor of probe’s measurement signal that in turn leads ..." | ||
№ 1 (2012) | МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИСТАНЦИОННОЙ ЗАВИСИМОСТИ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. К. Тявловский | ||
"... A mathematical model of cylindrical shaped plane-ended scanning Kelvin probe output signal ..." | ||
Том 8, № 1 (2017) | АНАЛИЗ ДЕФЕКТОВ ПОВЕРХНОСТИ ИСХОДНЫХ ПОДЛОЖЕК АЛЮМИНИЯ И ЕГО СПЛАВОВ МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА КЕЛЬВИНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
А. К. Тявловский, А. Л. Жарин, О. К. Гусев, Р. И. Воробей, Н. И. Мухуров, Г. В. Шаронов, К. В. Пантелеев | ||
"... with a scanning Kelvin probe technique. The results of scanning were plotted in a form of contact potential ..." | ||
Том 8, № 4 (2017) | АНАЛИЗ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПОЛИМЕРОВ МОДИФИЦИРОВАННЫМ ЗОНДОМ КЕЛЬВИНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. В. Пантелеев, А. В. Кравцевич, И. А. Ровба, В. И. Лысенко, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин | ||
"... various modifications of a scanning Kelvin probe. These methods allow mapping the spatial distribution ..." | ||
Том 7, № 1 (2016) | ПОСТРОЕНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕНЦИАЛОВ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. В. Пантелеев, В. А. Микитевич, А. Л. Жарин | ||
"... , such as a Scanning Kelvin Probe, as well as for controlling system of manufacturing processes, e.g. under friction ..." | ||
Том 13, № 4 (2022) | Зарядочувствительный метод исследования деформационных процессов | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. B. Пантелеев, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин | ||
"... . A scanning modification of a charge-sensitive probe is used as a measuring instrument. The results ..." | ||
Том 16, № 1 (2025) | Выявление скрытых дефектов алюминиевых подложек для сенсорных устройств после термомеханической обработки с помощью сканирующего зонда Кельвина | Аннотация похожие документы |
А. Л. Жарин, И. В. Гасенкова, А. К. Тявловский, Н. И. Мухуров, С. И. Спицкий | ||
"... the quality of this processing using the scanning Kelvin probe technique. The technique applied allows ..." | ||
Том 7, № 2 (2016) | ЦИФРОВОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕНЦИАЛОВ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, А. Л. Жарин | ||
"... . The speed and the accuracy are essential, for example, for Scanning Kelvin Probes. The purpose of this paper ..." | ||
Том 14, № 2 (2023) | Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, К. В. Пантелеев, А. В. Самарина, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский | ||
"... an immovable reference electrode are considered. Despite the need to increase the area of the probe compared ..." | ||
№ 2 (2014) | МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЙ РАБОТЫ ВЫХОДА ЭЛЕКТРОНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ СОСТОЯНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ В ПРОЦЕССЕ ТРЕНИЯ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. Л. Жарин | ||
"... of the friction surface. The techniques of tribological studies using contact potential difference probes ..." | ||
Том 14, № 1 (2023) | Интеллектуальный сенсор для измерительных систем, работающих по схеме синусоидальное возбуждение – отклик | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Микитевич, А. И. Свистун, А. В. Самарина, К. В. Пантелеев, А. Л. Жарин | ||
"... . This approach has been tested in the development of charge-sensitive surface mapping systems, such as the Kelvin ..." | ||
Том 6, № 1 (2015) | ДИАГНОСТИКА ЛОКАЛЬНЫХ ИЗМЕНЕНИЙ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ ПО РАБОТЕ ВЫХОДА ЭЛЕКТРОНА | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. Л. Жарин | ||
"... of their application of localization of plastic deformation studies using the Kelvin probe are developed and present ..." | ||
№ 1 (2013) | КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
С. А. Чижик, С. П. Басалаев, В. А. Пилипенко, А. Л. Худолей, Т. А. Кузнецова, В. В. Чикунов, А. А. Суслов | ||
"... in one diagnostic unit. Scanning probe microscope (SPM 200) is designed and produced. Complex ..." | ||
№ 1 (2011) | МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Пилипенко, А. Н. Петлицкий, В. А. Горушко, С. В. Шведов, В. В. Понарядов | ||
"... profile of the semiconductor wafers. It was established, that on the basis of determining the inclination ..." | ||
Том 14, № 4 (2023) | Влияние температуры от 20 до 100 °С на удельную поверхностную энергию и вязкость разрушения пластин кремния | Аннотация похожие документы |
В. А. Лапицкая, Т. А. Кузнецова, С. А. Чижик | ||
"... and fracture toughness of standard silicon wafers of three orientations (100), (110) and (111) was studied ..." | ||
Том 15, № 2 (2024) | Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки | Аннотация PDF (Rus) похожие документы |
В. А. Пилипенко, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский, В. А. Солодуха | ||
"... Presently it is important to remove mechanically disturbed layer on wafer surface during creation ..." | ||
Том 13, № 3 (2022) | Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики | Аннотация похожие документы |
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко, Д. В. Шестовский | ||
"... of influence of the rapid thermal treatment of the initial silicon wafers of the various doping level ..." | ||
Том 15, № 4 (2024) | Тонкоплёночная технология корпусирования микроэлектромеханических систем на основе каркасной структуры | Аннотация похожие документы |
Е. С. Барбин, И. В. Кулинич, Т. Г. Нестеренко, А. Н. Коледа, Е. В. Шестериков, П. Ф. Баранов, Д. П. Ильященко | ||
"... новая технология упаковки на уровне пластины полностью совместима с технологией производства МЭМС без ..." | ||
1 - 25 из 68 результатов | 1 2 3 > >> |
Советы по поиску:
- Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
- Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
- По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
- Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
- Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
- Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
- Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
- Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)