Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
Том 8, № 4 (2017) ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА КРЕМНИЙ-ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ ЭЛЕКТРОМЕТРИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Филипеня, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... silicon wafers of KEF 4.5 and KDB 12 type (orientation <100>, diameter 100 mm). Probe electrometry ..."
 
Том 14, № 4 (2023) Влияние температуры от 20 до 100 °С на удельную поверхностную энергию и вязкость разрушения пластин кремния Аннотация  похожие документы
В. А. Лапицкая, Т. А. Кузнецова, С. А. Чижик
"... and fracture toughness of standard silicon wafers of three orientations (100), (110) and (111) was studied ..."
 
№ 2 (2013) КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... of a silicon-insulator structure. Experiments were held using a thermally oxidized boron-doped silicon wafer ..."
 
№ 2 (2013) КОНТРОЛЬ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ КРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК НА ОСНОВЕ АНАЛИЗА ПРОСТРАНСТВЕННОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛА ПО ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... of a silicon-insulator structure. Experiments were held using a thermally oxidized boron-doped silicon wafer ..."
 
Том 15, № 2 (2024) Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский, В. А. Солодуха
"... silicon wafers' of 30 nm thickness and also the results of the planar surface of raw silicon wafers ..."
 
Том 13, № 3 (2022) Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики Аннотация  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко, Д. В. Шестовский
"... of influence of the rapid thermal treatment of the initial silicon wafers of the various doping level ..."
 
№ 1 (2011) МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, А. Н. Петлицкий, В. А. Горушко, С. В. Шведов, В. В. Понарядов
"... profile of the semiconductor wafers. It was established, that on the basis of determining the inclination ..."
 
Том 7, № 1 (2016) СКЛЕРОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОТВЕРДОСТИ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, В. Е. Гайшун
"... applied on plates of single-crystal silicon. As an example films of positive diazoquinonenovolak ..."
 
№ 1 (2013) КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. А. Чижик, С. П. Басалаев, В. А. Пилипенко, А. Л. Худолей, Т. А. Кузнецова, В. В. Чикунов, А. А. Суслов
"...  SPM  200  realizes  nondestructive control of microelectronics elements made on silicon wafers up ..."
 
Том 15, № 4 (2024) Конвертор поляризации на основе нитрида кремния на изоляторе Аннотация  похожие документы
Д. М. Моховиков, Е. С. Барбин, Т. Г. Нестеренко, А. А. Таловская, А. С. Мырзахметов, И. В. Кулинич, П. Ф. Баранов, Д. П. Ильященко
"... a design method and fabrication technology for polarization converters based on silicon nitride ..."
 
Том 13, № 4 (2022) Высокочастотный конденсатор с рабочим веществом «изолятор нелегированный кремний изолятор» Аннотация  похожие документы
Н. А. Поклонский, И. И. Аникеев, С. А. Вырко
"... with the working substance "insulator-undoped silicon-insulator" at different applied to the capacitor direct ..."
 
№ 1 (2012) КРЕМНИЙ-ГЕРМАНИЕВЫЕ ПРИБОРНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ОПТОЭЛЕКТРОНИКЕ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. В. Мудрый, Ф. Мофиднахаи, А. В. Короткий, А. В. Двуреченский, Ж. В. Смагина, В. А. Володин, П. Л. Новиков
 
Том 16, № 1 (2025) Отражательно-абсорбционная ИК Фурье-спектроскопия фоторезистивных плёнок на кремнии Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович, С. Д. Бринкевич, В. В. Колос, О. А. Зубова
"... silicon by centrifugation has been carried out. In the reflective absorption IR spectra absorption bands ..."
 
Том 7, № 2 (2016) ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ГЛУБОКОСУБМИКРОННОГО МОП-ТРАНЗИСТОРА СО СТРУКТУРОЙ «КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ» Аннотация  похожие документы
А. В. Борздов, В. М. Борздов, Н. Н. Дорожкин
"... Today submicron silicon-on-insulator (SOI) MOSFET structures are widely used in different ..."
 
Том 9, № 1 (2018) ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
С. Ф. Сенько, В. А. Зеленин
"... of topographic defects of semiconductor silicon wafers have been provided. Comparison of the obtained results ..."
 
Том 9, № 2 (2018) РАСЧЕТ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВОГО ДИОДА, СОДЕРЖАЩЕГО В СИММЕТРИЧНОМ p–n-ПЕРЕХОДЕ δ-СЛОЙ ТОЧЕЧНЫХ ТРЕХЗАРЯДНЫХ ДЕФЕКТОВ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Н. А. Поклонский, А. И. Ковалев, Н. И. Горбачук, С. В. Шпаковский
"... of the study is to calculate the electric parameters of a symmetric silicon diode, in the flat p–n-junction ..."
 
Том 14, № 1 (2023) Импеданс индуктивного типа барьерных структур Mo/n-Si, облучённых альфа-частицами Аннотация  похожие документы
Н. А. Поклонский, А. И. Ковалев, К. В. Усенко, Е. А. Ермакова, Н. И. Горбачук, С. Б. Ластовский
"... In silicon microelectronics, flat metal spirals are formed to create an integrated inductance ..."
 
№ 2 (2012) ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Минченко, Г. Ф. Ковальчук, С. Б. Школык
"... with automatic sensing of LSI wafer are discussed.   ..."
 
№ 2 (2011) АНАЛИЗ МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО ПОТЕНЦИАЛА ДИЭЛЕКТРИКОВ ПО СХЕМЕ ТОКОВОЙ КОМПЕНСАЦИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. К. Тявловский, А. Л. Жарин
 
Том 14, № 3 (2023) Универсальный цифровой зондовый электрометр для контроля полупроводниковых пластин Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
А. Л. Жарин, В. А. Микитевич, А. И. Свистун, К. В. Пантелеев
"... Non-contact electrical methods are widely used for research and control of semiconductor wafers ..."
 
Том 9, № 4 (2018) Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика полупроводниковых приборов Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Г. Г. Чигирь, В. А. Филипеня, В. А. Горушко
"... of the initial silicon wafers and gate dielectric on its reliability. The paper proposes a model for evaluation ..."
 
Том 10, № 4 (2019) Влияние экстракции дырок из базовой области кремниевого p–n–p-транзистора на его реактивный импеданс Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Н. И. Горбачук, Н. А. Поклонский, Я. Н. Марочкина, С. В. Шпаковский
"... of elements of silicon based integrated circuits with an impedance of inductive type. ..."
 
№ 2 (2014) РЕЖИМ САМОКАЛИБРОВКИ ЗОНДА КЕЛЬВИНА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, А. С. Турцевич, А. К. Тявловский
"... Improvement of repeatability and reliability of semiconductor wafers properties monitoring ..."
 
Том 15, № 4 (2024) Тонкоплёночная технология корпусирования микроэлектромеханических систем на основе каркасной структуры Аннотация  похожие документы
Е. С. Барбин, И. В. Кулинич, Т. Г. Нестеренко, А. Н. Коледа, Е. В. Шестериков, П. Ф. Баранов, Д. П. Ильященко
 
Том 8, № 3 (2017) ЗАВИСИМОСТЬ СИГНАЛА ГИГАНТСКОГО КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА ОТ ФОРМЫ СЕРЕБРЯНЫХ НАНОСТРУКТУР, ВЫРАЩЕННЫХ В ПОРАХ SiO2 /n-Si-ШАБЛОНА Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
Д. В. Якимчук, Е. Ю. Канюков, С. Е. Демьянов, В. Д. Бундюкова, А. В. Дейнак, И. И. Макоед, Г. М. Арзуманян, Н. В. Дорошкевич, К. З. Маматкулов, В. Сиваков
"... nanostructures were synthesized in silicon dioxide pores on monocrystalline silicon n-type substrate. The pores ..."
 
1 - 25 из 42 результатов 1 2 > >> 

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)