Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

Поиск


Сортировать по:     
 
Выпуск Название
 
Том 9, № 4 (2018) Экспрессный контроль надежности подзатворного диэлектрика полупроводниковых приборов Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, Г. Г. Чигирь, В. А. Филипеня, В. А. Горушко
"... диэлектрик. По мере уменьшения его толщины в процессе масштабирования растет совокупный объем факторов ..."
 
№ 1 (2013) МОНИТОРИНГ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ГЕРМЕТИЗАЦИИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Солодуха, А. С. Турцевич, Я. А. Соловьев, И. И. Рубцевич, А. Ф. Керенцев, А. А. Довженко, И. В. Чирко
"... Высокая надежность интегральных схем специального назначения в металлокерамических корпусах на ..."
 
Том 13, № 3 (2022) Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики Аннотация  похожие документы
В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, А. А. Омельченко, Д. В. Шестовский
"... термообработки. Установлено уменьшение коэффициентов преломления и поглощения в центре зоны Бриллюэна для ..."
 
Том 15, № 2 (2024) Структура планарной поверхности кремниевых пластин до и после быстрой термообработки Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, А. А. Сергейчик, Д. В. Шестовский, В. А. Солодуха
"... позволило получить достоверную информацию о состоянии кристаллической решётки в поверхностном слое толщиной ..."
 
Том 8, № 4 (2017) ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГРАНИЦЫ РАЗДЕЛА КРЕМНИЙ-ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДОВ ЗОНДОВОЙ ЭЛЕКТРОМЕТРИИ Аннотация  PDF (Rus)  похожие документы
В. А. Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Филипеня, Р. И. Воробей, О. К. Гусев, А. Л. Жарин, К. В. Пантелеев, А. И. Свистун, А. К. Тявловский, К. Л. Тявловский
"... Анализ микронеоднородностей в системе кремний-двуокись кремния становится наиболее актуальным в ..."
 
1 - 5 из 5 результатов

Советы по поиску:

  • Поиск ведется с учетом регистра (строчные и прописные буквы различаются)
  • Служебные слова (предлоги, союзы и т.п.) игнорируются
  • По умолчанию отображаются статьи, содержащие хотя бы одно слово из запроса (то есть предполагается условие OR)
  • Чтобы гарантировать, что слово содержится в статье, предварите его знаком +; например, +журнал +мембрана органелла рибосома
  • Для поиска статей, содержащих все слова из запроса, объединяйте их с помощью AND; например, клетка AND органелла
  • Исключайте слово при помощи знака - (дефис) или NOT; например. клетка -стволовая или клетка NOT стволовая
  • Для поиска точной фразы используйте кавычки; например, "бесплатные издания". Совет: используйте кавычки для поиска последовательности иероглифов; например, "中国"
  • Используйте круглые скобки для создания сложных запросов; например, архив ((журнал AND конференция) NOT диссертация)