pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-167Research ArticleМетоды измерений, контроля, диагностикиMethods of measurements, monitoring, diagnosticsМЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНMETHOD AND CONTROL SET-UP OF SILICON WAFER FLATNESSПилипенкоВ. А.PilipenkoV. A.ПетлицкийА. Н.PetlitskyA. N.pimi@bntu.byГорушкоВ. А.GorushkoV. A.pimi@bntu.byШведовС. В.ShvedovS. V.pimi@bntu.byПонарядовВ. В.PonaryadovV. V.pimi@bntu.by«Интеграл», г. МинскBelarusБелорусский государственный университетBelarus201129042015017176Copyright © Пилипенко В.А., Петлицкий А.Н., Горушко В.А., Шведов С.В., Понарядов В.В., 20152015Пилипенко В.А., Петлицкий А.Н., Горушко В.А., Шведов С.В., Понарядов В.В.Pilipenko V.A., Petlitsky A.N., Gorushko V.A., Shvedov S.V., Ponaryadov V.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/167

Предложен метод и разработана установка лазерного контроля стрелы прогиба и профиля изгиба полупроводниковых пластин. Метод основан на регистрации отклонения отраженного лазерного луча от положения, соответствующего отражению от идеально плоской поверхности. Установлено, что по результатам определения угла наклона касательной в любой точке поверхности, определяемой путем сканирования полупроводниковой пластины лазерным лучом, возможно определение ее профиля изгиба.

ReferencesПилипенко, В.А. Лазерный метод контроля профиля изгиба кремниевых пластин / В.А. Пилипенко [и др.] // Материалы 28-ой Международной конференции «Композиционные материалы в промышленности. – Ялта. – 2008. – С. 354.Пилипенко, В.А. Лазерный метод контроля профиля изгиба кремниевых пластин / В.А. Пилипенко [и др.] // Материалы 28-ой Международной конференции «Композиционные материалы в промышленности. – Ялта. – 2008. – С. 354.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.