Зеленин, В. А., Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси, Беларусь

• Том 9, № 1 (2018) - Методы измерений, контроля, диагностики
  ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР
  Аннотация  PDF (Rus)
• Том 9, № 3 (2018) - Методы измерений, контроля, диагностики
  Измерение локальных остаточных напряжений в полупроводниковых кремниевых структурах
  Аннотация  PDF (Rus)