Для цитирования:

Сенько С.Ф., Зеленин В.А. Измерение локальных остаточных напряжений в полупроводниковых кремниевых структурах. Приборы и методы измерений. 2018;9(3):254-262. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-3-254-262

For citation:

Sianko S.F., Zelenin V.A. Control of local stress in semiconductor silicon structures. Devices and Methods of Measurements. 2018;9(3):254-262. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-3-254-262