Для цитирования:

Жарин А.Л., Гасенкова И.В., Тявловский А.К., Мухуров Н.И., Спицкий С.И. Выявление скрытых дефектов алюминиевых подложек для сенсорных устройств после термомеханической обработки с помощью сканирующего зонда Кельвина. Приборы и методы измерений. 2025;16(1):47-54. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-1-47-54

For citation:

Zharin A.L., Gasenkova I.V., Tyavlovsky A.K., Mukhurov N.I., Spitski S.I. Detection of Hidden Defects Induced by Thermomechanical Processing of Aluminum Substrates for Sensor Devices Using a Scanning Kelvin Probe. Devices and Methods of Measurements. 2025;16(1):47-54. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-1-47-54