pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-9Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsКОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМEQUIPMENT FOR NONDESTRUCTIVE TESTING OF SILICON WAFERS SUBMICRON TOPOLOGY DURING THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITSЧижикС. А.ChizhikS. A.khudoley@hmti.ac.byБасалаевС. П.BasalaevS. P.khudoley@hmti.ac.byПилипенкоВ. А.PilipenkoV. A.khudoley@hmti.ac.byХудолейА. Л.KhudoleyA. L.khudoley@hmti.ac.byКузнецоваТ. А.KuznetsovaT. A.khudoley@hmti.ac.byЧикуновВ. В.ChikunovV. V.khudoley@hmti.ac.byСусловА. А.SuslovA. A.khudoley@hmti.ac.byИнститут тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН БеларусиBelarusОАО «Оптоэлектронные системы», г. МинскBelarusНТЦ «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл», г. МинскBelarusОДО «Микротестмашины», г. ГомельBelarus201330032015011418Copyright © Чижик С.А., Басалаев С.П., Пилипенко В.А., Худолей А.Л., Кузнецова Т.А., Чикунов В.В., Суслов А.А., 20152015Чижик С.А., Басалаев С.П., Пилипенко В.А., Худолей А.Л., Кузнецова Т.А., Чикунов В.В., Суслов А.А.Chizhik S.A., Basalaev S.P., Pilipenko V.A., Khudoley A.L., Kuznetsova T.A., Chikunov V.V., Suslov A.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/9

Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикроэлектроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой микроскопии, разработан и изготовлен сканирующий зондовый микроскоп. Комплекс внедрен для промышленного неразрушающего контроля субмикроэлектроники, выполненной на кремниевых  пластинах диаметром  до  200 мм, с целью осуществления  операционного контроля, метрологических измерений и приемки качества готовой продукции.

The advantages of using an atomic force microscopy in manufacturing of submicron integrated circuits are described. The possibilities of characterizing the surface morphology and the etching profile for silicon substrate and bus lines, estimation of the periodicity and size of bus lines, geometrical stability for elementary bus line are shown. Methods of optical and atomic force microcopies are combined in one diagnostic unit. Scanning  probe  microscope  (SPM  200)  is  designed  and  produced.  Complex  SPM  200  realizes  nondestructive control of microelectronics elements made on silicon wafers up to 200 mm in diameter and it is introduced by JSC «Integral» for the purpose of operational control, metrology and acceptance of the final product.

контроль субмикронной топологииоптическая и атомно-силовая микроскопияsubmicron topology controloptic and atomic force microscopyReferencesСканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом: пат. 2244332 РФ, МПК G02B21/00 / А.В. Беляев, В.А. Быков, С.А. Саунин, Л.Г. Фюрст. – № 2002121274/28; заявл. 13.08.2002; опубл. 10.01.2005.Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом: пат. 2244332 РФ, МПК G02B21/00 / А.В. Беляев, В.А. Быков, С.А. Саунин, Л.Г. Фюрст. – № 2002121274/28; заявл. 13.08.2002; опубл. 10.01.2005.Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер, совмещенный с оптической системой линейных измерений: пат. на полезную модель 96429 РФ, МПК G01N3/42, G01N3/48 / К.В. Гоголинский [и др.]. – № 2010110686/22; заявл. 23.03.2010; опубл. 27.07.2010.Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер, совмещенный с оптической системой линейных измерений: пат. на полезную модель 96429 РФ, МПК G01N3/42, G01N3/48 / К.В. Гоголинский [и др.]. – № 2010110686/22; заявл. 23.03.2010; опубл. 27.07.2010.Scanning Probe Microscopy Special Issue // Microscopy and Analysis. – 2011. – No 133. – P. 25–34.Scanning Probe Microscopy Special Issue // Microscopy and Analysis. – 2011. – No 133. – P. 25–34.Пилипенко, В.А. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии / В.А. Пилипенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: сб. докл. VII Междунар. семинара, Минск, 1–3 нояб. 2006 г. – Минск : Ин-т тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2006. – С. 108–114.Пилипенко, В.А. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии / В.А. Пилипенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: сб. докл. VII Междунар. семинара, Минск, 1–3 нояб. 2006 г. – Минск : Ин-т тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2006. – С. 108–114.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.