FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION
Abstract
Design and fabrication technique of four sensor gas microsystem based on nanoporous anodic alumina have been developed. Simulation of basic elements′ temperature and thermo-mechanical deformation created in the microsystem construction has been carried out by finite element method. r-spacing:-.05pt'>боты микросистемы.
About the Authors
O. G. Reutskaya
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Belarus
Belarus
Ya. A. Belahurau
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
I. A. Taratyn
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Belarus
Belarus
V. V. Khatko
Белорусский национальный технический университет
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Gas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.php
2. Stankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.
3. Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.
4. Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.
Review
For citations:
Reutskaya O.G., Belahurau Ya.A., Taratyn I.A., Khatko V.V. FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2013;(2):47-51. (In Russ.)
Views:
691
Email this article 