pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-38Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕFOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATIONРеутскаяО. Г.ReutskayaO. G.viacheslav.khatko@gmail.comБелогуровЕ. А.BelahurauYa. A.viacheslav.khatko@gmail.comТаратынИ. А.TaratynI. A.viacheslav.khatko@gmail.comХатькоВ. В.KhatkoV. V.viacheslav.khatko@gmail.comМинский НИИ радиоматериалов, г. МинскBelarusБелорусский национальный технический университетBelarus201330032015024751Copyright © Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В., 20152015Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В.Reutskaya O.G., Belahurau Y.A., Taratyn I.A., Khatko V.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/38

Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.

Design and fabrication technique of four sensor gas microsystem based on nanoporous anodic alumina have been developed. Simulation of basic elements′ temperature and thermo-mechanical deformation created in the microsystem construction has been carried out by finite element method. r-spacing:-.05pt'>боты микросистемы.

пористый анодный оксид алюминиячетырехсенсорная газовая системаметод конечных элементовnapoporous anodic aluminafour sensor gas microsystemfinite element methodReferencesGas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.phpGas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.phpStankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.Stankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.