Для цитирования:

Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В. ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ. Приборы и методы измерений. 2013;(2):47-51.

For citation:

Reutskaya O.G., Belahurau Ya.A., Taratyn I.A., Khatko V.V. FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2013;(2):47-51. (In Russ.)