Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ

Аннотация

Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.

Об авторах

О. Г. Реутская
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Беларусь


Е. А. Белогуров
Белорусский национальный технический университет
Беларусь


И. А. Таратын
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Беларусь


В. В. Хатько
Белорусский национальный технический университет
Россия


Список литературы

1. Gas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.php

2. Stankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.

3. Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.

4. Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.


Рецензия

Для цитирования:


Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В. ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ. Приборы и методы измерений. 2013;(2):47-51.

For citation:


Reutskaya O.G., Belahurau Ya.A., Taratyn I.A., Khatko V.V. FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2013;(2):47-51. (In Russ.)

Просмотров: 690


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)