ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ
Аннотация
Об авторах
О. Г. РеутскаяБеларусь
Е. А. Белогуров
Беларусь
И. А. Таратын
Беларусь
В. В. Хатько
Россия
Список литературы
1. Gas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.php
2. Stankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.
3. Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.
4. Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.
Рецензия
Для цитирования:
Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В. ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ. Приборы и методы измерений. 2013;(2):47-51.
For citation:
Reutskaya O.G., Belahurau Ya.A., Taratyn I.A., Khatko V.V. FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2013;(2):47-51. (In Russ.)