ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ
Аннотация
Разработаны конструкция и технология создания 4-сенсорной газовой микросистемы, изготавливаемой на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Методом конечных элементов проведено моделирование температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы.
Об авторах
О. Г. Реутская
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Беларусь
Беларусь
Е. А. Белогуров
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
И. А. Таратын
Минский НИИ радиоматериалов, г. Минск
Беларусь
Беларусь
В. В. Хатько
Белорусский национальный технический университет
Россия
Россия
Список литературы
1. Gas Sensor Micro Arrays [Электронный ресурс]. – Режим доступа : http://www.iam.kit.edu/wpt/english/274.php
2. Stankova, M. Sensitivity and selectivity improvement of rf sputtered WO3 microhotplate gas sensors / M. Stankova [et al.] // Sens. Actuators B, Chem. – 2006. –V. 113. – P. 241–248.
3. Белогуров, Е.А. Конструирование газовых микросистем на основе нанопористого анодного оксида алюминия / Е.А. Белогуров [и др.] // Приборы и методы измерений. – 2011. № 2. – С. 59–65.
4. Баркалин, В.В. Конечно-элементное моделирование термомеханических свойств нанопористых материалов / В.В. Баркалин [и др.] // Нанои микросистемная техника. – 2012. – № 1. – С. 18–24.
Рецензия
Для цитирования:
Реутская О.Г., Белогуров Е.А., Таратын И.А., Хатько В.В. ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ. Приборы и методы измерений. 2013;(2):47-51.
For citation:
Reutskaya O.G., Belahurau Ya.A., Taratyn I.A., Khatko V.V. FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2013;(2):47-51. (In Russ.)
Просмотров:
690
Послать статью по эл. почте 