Для цитирования:

Климович И.М., Кулешов В.Н., Зайков В.А., Бурмаков А.П., Комаров Ф.Ф., Людчик О.Р. СИСТЕМА КОНТРОЛЯ РАСХОДА ГАЗОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Приборы и методы измерений. 2015;6(2):139-147. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2015-6-2-67-75

For citation:

Klimovich I.M., Kuleshov V.N., Zaikou V.A., Burmakou A.P., Komarov F.F., Ludchik O.R. GAS FLOW CONTROL SYSTEM IN REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING TECHNOLOGY. Devices and Methods of Measurements. 2015;6(2):139-147. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2015-6-2-67-75