КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ
Аннотация
Разработан и изготовлен измерительный комплекс, предназначенный для количественного анализа содержания и распределения по глубине примесных атомов в приповерхностных слоях кристаллов и тонких пленок методом регистрации энергетических спектров ионов, испытавших резерфордовское рассеяние на углы более π/2. В основу конструкции комплекса заложен модульно-блочный принцип. В состав модулей включены микроконтроллеры, что позволило существенно сократить элементную базу этих устройств. Проведена калибровка комплекса. Определены: энергетическое разрешение, составляющее 1,3 %, энергетическая ширина канала – 281 эВ, диапазон регистрируемых энергий от 37 до 281 кэВ, чувствительность 5×1014 ат/см2.
Об авторах
А. С. КамышанБеларусь
Ф. Ф. Комаров
Беларусь
В. В. Данилевич
Беларусь
П. А. Гришан
Беларусь
Рецензия
Для цитирования:
Камышан А.С., Комаров Ф.Ф., Данилевич В.В., Гришан П.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ. Приборы и методы измерений. 2010;(1):17-22.
For citation:
Kamyshan A.S., Komarov F.F., Danilevich V.V., Grishan P.A. COMPLEX FOR ELEMENTAL ANALYSIS OF SUBSURFACE LAYERS WITH NANOMETER DEPTH RESOLUTION. Devices and Methods of Measurements. 2010;(1):17-22. (In Russ.)