Preview

Войти

Регистрация нового пользователя Забыли Ваш пароль?

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ

Полный текст:

PDF (Rus) |
сгенерировать QR код

Аннотация

Разработан и изготовлен измерительный комплекс, предназначенный для количественного анализа содержания и распределения по глубине примесных атомов в приповерхностных слоях кристаллов и тонких пленок методом регистрации энергетических спектров ионов, испытавших резерфордовское рассеяние на углы более π/2. В основу конструкции комплекса заложен модульно-блочный принцип. В состав модулей включены микроконтроллеры, что позволило существенно сократить элементную базу этих устройств. Проведена калибровка комплекса. Определены: энергетическое разрешение, составляющее 1,3 %, энергетическая ширина канала – 281 эВ, диапазон регистрируемых энергий от 37 до 281 кэВ, чувствительность 5×1014 ат/см2.

Для цитирования:

Камышан А.С., Комаров Ф.Ф., Данилевич В.В., Гришан П.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ. Приборы и методы измерений. 2010;(1):17-22.

For citation:

Kamyshan A.S., Komarov F.F., Danilevich V.V., Grishan P.A. COMPLEX FOR ELEMENTAL ANALYSIS OF SUBSURFACE LAYERS WITH NANOMETER DEPTH RESOLUTION. Devices and Methods of Measurements. 2010;(1):17-22. (In Russ.)

Просмотров: 900


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)

Белорусский национальный технический университет
пр. Независимости, 65, корп. 17, каб. 432, 220013, г. Минск, Республика Беларусь
Тел.: +375 17 293 96 67
Email: pimi@bntu.by

создано и поддерживается NEICON
(лаборатория Elpub)