КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ
Аннотация
Разработан и изготовлен измерительный комплекс, предназначенный для количественного анализа содержания и распределения по глубине примесных атомов в приповерхностных слоях кристаллов и тонких пленок методом регистрации энергетических спектров ионов, испытавших резерфордовское рассеяние на углы более π/2. В основу конструкции комплекса заложен модульно-блочный принцип. В состав модулей включены микроконтроллеры, что позволило существенно сократить элементную базу этих устройств. Проведена калибровка комплекса. Определены: энергетическое разрешение, составляющее 1,3 %, энергетическая ширина канала – 281 эВ, диапазон регистрируемых энергий от 37 до 281 кэВ, чувствительность 5×1014 ат/см2.
Об авторах
А. С. Камышан
Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко Белорусского государственного университета
Беларусь
Беларусь
Ф. Ф. Комаров
Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко Белорусского государственного университета
Беларусь
Беларусь
В. В. Данилевич
Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко Белорусского государственного университета
Беларусь
Беларусь
П. А. Гришан
Институт прикладных физических проблем имени А.Н. Севченко Белорусского государственного университета
Беларусь
Беларусь
Рецензия
Для цитирования:
Камышан А.С., Комаров Ф.Ф., Данилевич В.В., Гришан П.А. КОМПЛЕКС ДЛЯ ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ ПО ГЛУБИНЕ. Приборы и методы измерений. 2010;(1):17-22.
For citation:
Kamyshan A.S., Komarov F.F., Danilevich V.V., Grishan P.A. COMPLEX FOR ELEMENTAL ANALYSIS OF SUBSURFACE LAYERS WITH NANOMETER DEPTH RESOLUTION. Devices and Methods of Measurements. 2010;(1):17-22. (In Russ.)
Просмотров:
895
Послать статью по эл. почте 