МОДЕЛИРОВАНИЕ КОНСТРУКЦИИ ЛАВИННЫХ ФОТОДИОДОВ С ОХРАННЫМИ ОБЛАСТЯМИ ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ МАЛОМОЩНЫХ СВЕТОВЫХ ПОТОКОВ
https://doi.org/10.21122/2220-9506-2011-0-1-19-22
Аннотация
Проведено моделирование конструкции охранной области и величины напряжения пробоя лавинного фотодиода со структурой диода Рида. Показано влияние полевой обкладки с системой охранных колец на область пробоя n+-p перехода и предложен метод ее реализации. Установлен требуемый профиль примеси в эпитаксиальной пленке при концентрации примеси в подложке ~2,5·1014 см-3, определены пробивные напряжения диода с охранными кольцами, распределение в нем электрического поля и области пробоя.
Об авторах
Н. Н. КорыткоБеларусь
В. Б. Залесский
Беларусь
В. С. Малышев
Беларусь
В. В. Хатько
Беларусь
Список литературы
1. Розеншер, Э. Оптоэлектроника / Э. Розеншер, Б. Винтер. – М. : Техносфера, 2004. – 416 c.
2. Taurus -WorkBench. User manual. – Synopsys, 2003.
3. Taurus TSUPREM4. User manual. – Synopsys, 2003.
4. Taurus Medici. User manual. – Synopsys, 2003.
5. Arora, N. D. Electron and hole mobilities in silicon as a function of concentration and temperature / N. D. Arora, J. R. Hauser, D. J. Roulston // IEEE Trans. Electron Devices. –1982. – Vol. ED–29, № 2. – P. 292–295.
6. Зи, С. Физика полупроводниковых приборов / С. Зи. – М. : Мир, 1984. – Т.2. – 456 с.
7. Корытко, Н.Н. Оптимизация конструкции лавинных фотодиодов с охранными областями / Н.Н. Корытко [и др.]// Материалы 2-й Международной конференции «Приборостроение-2009», Минск, Республика Беларусь, 11–13 ноября 2009 г. – С. 287–288.
Рецензия
Для цитирования:
Корытко Н.Н., Залесский В.Б., Малышев В.С., Хатько В.В. МОДЕЛИРОВАНИЕ КОНСТРУКЦИИ ЛАВИННЫХ ФОТОДИОДОВ С ОХРАННЫМИ ОБЛАСТЯМИ ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ МАЛОМОЩНЫХ СВЕТОВЫХ ПОТОКОВ. Приборы и методы измерений. 2011;(1):32-39. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2011-0-1-19-22
For citation:
Koritko N.N., Zalesskij V.B., Malishev V.S., Khatko V.V. SIMULATION OF AVALANCHE PHOTODIODE CONSTRUCTION WITH GUARD AREAS. Devices and Methods of Measurements. 2011;(1):32-39. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2011-0-1-19-22