pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTU10.21122/2220-9506-2011-0-1-19-22pimi-161Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsМОДЕЛИРОВАНИЕ КОНСТРУКЦИИ ЛАВИННЫХ ФОТОДИОДОВ С ОХРАННЫМИ ОБЛАСТЯМИ ДЛЯ РЕГИСТРАЦИИ МАЛОМОЩНЫХ СВЕТОВЫХ ПОТОКОВSIMULATION OF AVALANCHE PHOTODIODE CONSTRUCTION WITH GUARD AREASКорыткоН. Н.KoritkoN. N.pimi@bntu.byЗалесскийВ. Б.ZalesskijV. B.pimi@bntu.byМалышевВ. С.MalishevV. S.pimi@bntu.byХатькоВ. В.KhatkoV. V.pimi@bntu.byБелорусский национальный технический университетBelarusИнститут физики НАН Беларуси, г. МинскBelarusНТЦ Белмикросистемы, г. МинскBelarus201129042015013239Copyright © Корытко Н.Н., Залесский В.Б., Малышев В.С., Хатько В.В., 20152015Корытко Н.Н., Залесский В.Б., Малышев В.С., Хатько В.В.Koritko N.N., Zalesskij V.B., Malishev V.S., Khatko V.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/161

Проведено моделирование конструкции охранной области и величины напряжения пробоя лавинного фотодиода со структурой диода Рида. Показано влияние полевой обкладки с системой охранных колец на область пробоя n+-p перехода и предложен метод ее реализации. Установлен требуемый профиль примеси в эпитаксиальной пленке при концентрации примеси в подложке ~2,5·1014 см-3, определены пробивные напряжения диода с охранными кольцами, распределение в нем электрического поля и области пробоя.

Construction and breakdown voltage of avalanche photodiode with Read diode structure was simulated by computer. It was shown that the guard area construction composed of the metal electrode and guard rings influences on the electrical quantities of n+-p junction breakdown region.

ReferencesРозеншер, Э. Оптоэлектроника / Э. Розеншер, Б. Винтер. – М. : Техносфера, 2004. – 416 c.Розеншер, Э. Оптоэлектроника / Э. Розеншер, Б. Винтер. – М. : Техносфера, 2004. – 416 c.Taurus -WorkBench. User manual. – Synopsys, 2003.Taurus -WorkBench. User manual. – Synopsys, 2003.Taurus TSUPREM4. User manual. – Synopsys, 2003.Taurus TSUPREM4. User manual. – Synopsys, 2003.Taurus Medici. User manual. – Synopsys, 2003.Taurus Medici. User manual. – Synopsys, 2003.Arora, N. D. Electron and hole mobilities in silicon as a function of concentration and temperature / N. D. Arora, J. R. Hauser, D. J. Roulston // IEEE Trans. Electron Devices. –1982. – Vol. ED–29, № 2. – P. 292–295.Arora, N. D. Electron and hole mobilities in silicon as a function of concentration and temperature / N. D. Arora, J. R. Hauser, D. J. Roulston // IEEE Trans. Electron Devices. –1982. – Vol. ED–29, № 2. – P. 292–295.Зи, С. Физика полупроводниковых приборов / С. Зи. – М. : Мир, 1984. – Т.2. – 456 с.Зи, С. Физика полупроводниковых приборов / С. Зи. – М. : Мир, 1984. – Т.2. – 456 с.Корытко, Н.Н. Оптимизация конструкции лавинных фотодиодов с охранными областями / Н.Н. Корытко [и др.]// Материалы 2-й Международной конференции «Приборостроение-2009», Минск, Республика Беларусь, 11–13 ноября 2009 г. – С. 287–288.Корытко, Н.Н. Оптимизация конструкции лавинных фотодиодов с охранными областями / Н.Н. Корытко [и др.]// Материалы 2-й Международной конференции «Приборостроение-2009», Минск, Республика Беларусь, 11–13 ноября 2009 г. – С. 287–288.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.