pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-100Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕDESIGN PRINCIPLES AND BLOCK SCHEMES OF THE PROBE AUTOMATIC INSPECTION SYSTEMS FOR MICROAND NANOELECTRONICS ON A WAFERМинченкоВ. А.MinchenkoV. A.shkolyksb@kbtem.byКовальчукГ. Ф.KovalchukG. F.shkolyksb@kbtem.byШколыкС. Б.ShkolykS. B.shkolyksb@kbtem.byГНПО «ПЛАНАР», г. МинскBelarus201224042015026775Copyright © Минченко В.А., Ковальчук Г.Ф., Школык С.Б., 20152015Минченко В.А., Ковальчук Г.Ф., Школык С.Б.Minchenko V.A., Kovalchuk G.F., Shkolyk S.B.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/100

 Предложены принципы построения и структурные схемы зондовых систем для аналитического и межоперационного измерения и контроля быстродействующих микрои наносистем на пластине в наносекундном диапазоне. Определены источники искажений широкополосных сигналов и погрешностей зондовых систем контроля, а также переходные характеристики широкополосных контактирующих устройств для контроля больших интегральных схем (БИС) в наносекундном диапазоне с помощью рефлектометрической установки с пикосекундным временным разрешением. Представлены особенности и определены погрешности прецизионных позиционеров на линейных шаговых двигателях и магнитовоздушной подушке для точного позиционирования зондов на контактные площадки БИС при автоматическом зондировании полупроводниковых пластин.

In this work we suggested the principles of design and block schemes of probe systems for analytical and interoperation measurement and inspection of high-speed microand nano on a chip systems in the nanosecond range. The sources of wideband signals distortion and errors of probe inspection systems for large integrated circuits inspection as well as transient response of high speed contacting probes are considered with the OTDR device with picosecond resolution. The features and defined errors of precision positioners for linear stepper motors and magnetic air motors for precise positioning of the probes on the pads with automatic sensing of LSI wafer are discussed.

 

зондовый контрольполупроводниковая пластинаprobe testingsemiconductor waferReferencesМинченко, В.А. Измерение переходной характеристики и задержки широкополосных контактирующих устройств для контроля параметров интегральных микросхем на пластине / В.А. Минченко. // Электронная техника. Сер.8. – 1992. – Вып. 5 (122). – С. 83–86.Минченко, В.А. Измерение переходной характеристики и задержки широкополосных контактирующих устройств для контроля параметров интегральных микросхем на пластине / В.А. Минченко. // Электронная техника. Сер.8. – 1992. – Вып. 5 (122). – С. 83–86.Минченко, В.А. Увеличение широкополосности контактирующих устройств для контроля БИС на пластине / В.А. Минченко, А.В. Ярош, В.С. Кононов. // Электронная промышленность. – 1991. – № 10. – С. 58–59.Минченко, В.А. Увеличение широкополосности контактирующих устройств для контроля БИС на пластине / В.А. Минченко, А.В. Ярош, В.С. Кононов. // Электронная промышленность. – 1991. – № 10. – С. 58–59.Котани. Конструкция и характеристики зондовой установки для низкотемпературных испытаний интегральных структур / Котани. // Приборы для научных исследований. – 1986. – № 1.Котани. Конструкция и характеристики зондовой установки для низкотемпературных испытаний интегральных структур / Котани. // Приборы для научных исследований. – 1986. – № 1.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.