Preview
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Ковальчук Н.С., Пилипенко В.А., Соловьёв Я.А. Влияние импульсной фотонной обработки в среде азота на надёжность подзатворного оксида кремния, полученного пирогенным окислением. Приборы и методы измерений. 2025;16(3):275-280. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-3-275-280

For citation:


Kovalchuk N.S., Pilipenko Y.A., Solovjov J.А. Effect of Pulsed Photon Processing in a Nitrogen Ambient on the Reliability of Gate Silicon Oxide Obtained by Pyrogenic Oxidation. Devices and Methods of Measurements. 2025;16(3):275-280. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-3-275-280

Просмотров PDF (Rus): 0


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)