Для цитирования:

Лапицкая В.А., Чижик С.А., Луценко Е.В., Соловьев Я.А., Насевич А.А., Люцко К.С., Петлицкая Т.В., Макаревич В.Б., Гуанбин Ю. Контроль микрорельефа поверхности кристаллов интегральных схем, дефектности гетерои субмикроструктур методом атомно-силовой микроскопии. Приборы и методы измерений. 2024;15(4):316-322. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-4-316-322

For citation:

Lapitskaya V.A., Chizhik S.A., Lutsenko E.V., Solovjov J.A., Nasevich A.A., Liutsko K.S., Petlitskaya T.V., Makarevich V.B., Guangbin Yu. Control of Integrated Circuits Crystals' Surface Microrelief and Defects of Heteroand Submicrostructures by the Atomic Force Microscopy Method. Devices and Methods of Measurements. 2024;15(4):316-322. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-4-316-322