Для цитирования:

Пилипенко В.А., Ковальчук Н.С., Шестовский Д.В., Жигулин Д.В. Энергодисперсионный рентгеновский микроанализ – как метод исследования границы раздела алюминийполикремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов. Приборы и методы измерений. 2024;15(2):104-109. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-2-104-109

For citation:

Pilipenko U.A., Kovalchuk N.S., Shestovski D.V., Zhyhulin D.V. Energy-Dispersive X-Ray Microanalysis – as a Method for Study the Aluminium-Polysilicon Interface after Exposure with Long-Term and Rapid Thermal Annealing. Devices and Methods of Measurements. 2024;15(2):104-109. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2024-15-2-104-109