Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Бурмаков А.П., Кулешов В.Н., Столяров А.В. СИСТЕМА СТАБИЛИЗАЦИИ ПРОЦЕССА РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Приборы и методы измерений. 2018;9(2):114-120. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-2-114-120

For citation:


Burmakou A.P., Kuleshov V.N., Stoliarov A.V. SYSTEM OF STABILIZATION OF REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING PROCESS. Devices and Methods of Measurements. 2018;9(2):114-120. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2018-9-2-114-120

Просмотров PDF (Rus): 656


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)