APPLICATION OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA BY GAS MICROSYSTEM DESIGN
Abstract
Influence of the porosity of anodic alumina substrate on basic characteristics of four gas sensor microsystem has been determined. Dependences of the tensor components of modulus of elasticity and thermalconductivity coefficients as a function of α-Al2O3 porosity obtained by FEA were utilized in the calculations.
About the Authors
Ya. A. Belahurau
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
Ya. I. Shukevich
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
V. V. Barkalin
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
V. V. Khatko
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
I. A. Taratyn
Белорусский национальный технический университет
Belarus
Belarus
References
1. Гринчук, А.П. Разработка газовых сенсоров для контроля горючих газов / А.П. Гринчук, И.А. Таратын, В.В. Хатько // Приборы и методы измерений. – 2010. – № 1. – С. 51–55.
2. Khatko, V. Tungsten Trioxide Sensing Layers on Highly Ordered Nanoporous Alumina Templates / Khatko [et al.] // Sensors and Actuators B: Chemical. – 2006. – Vol. 118. – № 1. – P. 255–262.
3. Lang, W. Application porous silicon as a sacrificial layer / W Lang [et al.] // Sensors and Actuators A. – 1994. – Vol. 43. – P. 239–242.
4. Xia, Z. Mechanical properties of highly ordered nanoporous anodic aluminia membranes / Z. Xia [et al.] // Rev.Adv.Mat.Sci – 2004. – Vol. 6. – Р. 131–139.
5. Баркалин, В.В. Иерархическая система моделирования физических процессов и свойств материалов на базе суперкомпьютерной конфигурации СКИФ К-1000 / В.В. Баркалин [и др.] // Научный сервис в сети Интернет: решение больших задач: Труды Всероссийской научной конференции (22–27 сентября 2008 г., г. Новороссийск). – М. : МГУ. – 2008. – С. 101–105.
6. Barkaline, V.V. Molecular dynamics simulation of mechanical properties of carbon nanotubes and their contact interaction with substrate /V.V. Barkaline, A.S. Chashynski, S.A. Chizhik // Proc. SPIE 7377, 737702 (2008).
7. Odegard, G.M. Equivalent-Continuum Modeling with Application to Carbon Nanotubes / G.M. Odegard [et al.]. – NASA/TM-2002-211454, 2002.
8. Frenkel, D. Understanding Molecular Simulation: From Algorithms to Applications / D. Frenkel, B. Smit. – N.Y. Academic Press, 2002. – 658 p.
9. Shaskolskaya, M.P. Acoustic Crystals Handbook, Nauka / M.P. Shaskolskaya. – Moscow, 1982. – 382 р.
10. Ташкинов, А. А. Прогнозирование эффективных теплофизических характеристик пироуглеродных матриц / А.А. Ташкинов, В.Е. Шавшуков // Математичекое моделирование систем и процессов. – 2002. – № 10. – С. 124– 132.
Review
For citations:
Belahurau Ya.A., Shukevich Ya.I., Barkalin V.V., Khatko V.V., Taratyn I.A. APPLICATION OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA BY GAS MICROSYSTEM DESIGN. Devices and Methods of Measurements. 2011;(2):59-65. (In Russ.)
Views:
760
Email this article 