pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-139Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsКОНСТРУИРОВАНИЕ ГАЗОВЫХ МИКРОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯAPPLICATION OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA BY GAS MICROSYSTEM DESIGNБелогуровЕ. А.BelahurauYa. A.viacheslav.khatko@gmail.comШукевичЯ. И.ShukevichYa. I.viacheslav.khatko@gmail.comБаркалинА. А.BarkalinV. V.viacheslav.khatko@gmail.comХатькоВ. В.KhatkoV. V.viacheslav.khatko@gmail.comТаратынИ. А.TaratynI. A.viacheslav.khatko@gmail.comБелорусский национальный технический университетBelarus201129042015025965Copyright © Белогуров Е.А., Шукевич Я.И., Баркалин А.А., Хатько В.В., Таратын И.А., 20152015Белогуров Е.А., Шукевич Я.И., Баркалин А.А., Хатько В.В., Таратын И.А.Belahurau Y.A., Shukevich Y.I., Barkalin V.V., Khatko V.V., Taratyn I.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/139

Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов. 

Influence of the porosity of anodic alumina substrate on basic characteristics of four gas sensor microsystem has been determined. Dependences of the tensor components of modulus of elasticity and thermalconductivity coefficients as a function of α-Al2O3 porosity obtained by FEA were utilized in the calculations. 

нанопористый анодный оксид алюминиягазовая сенсорная микросистемаnanoporous anodic alumina substrategas sensor microsystemReferencesГринчук, А.П. Разработка газовых сенсоров для контроля горючих газов / А.П. Гринчук, И.А. Таратын, В.В. Хатько // Приборы и методы измерений. – 2010. – № 1. – С. 51–55.Гринчук, А.П. Разработка газовых сенсоров для контроля горючих газов / А.П. Гринчук, И.А. Таратын, В.В. Хатько // Приборы и методы измерений. – 2010. – № 1. – С. 51–55.Khatko, V. Tungsten Trioxide Sensing Layers on Highly Ordered Nanoporous Alumina Templates / Khatko [et al.] // Sensors and Actuators B: Chemical. – 2006. – Vol. 118. – № 1. – P. 255–262.Khatko, V. Tungsten Trioxide Sensing Layers on Highly Ordered Nanoporous Alumina Templates / Khatko [et al.] // Sensors and Actuators B: Chemical. – 2006. – Vol. 118. – № 1. – P. 255–262.Lang, W. Application porous silicon as a sacrificial layer / W Lang [et al.] // Sensors and Actuators A. – 1994. – Vol. 43. – P. 239–242.Lang, W. Application porous silicon as a sacrificial layer / W Lang [et al.] // Sensors and Actuators A. – 1994. – Vol. 43. – P. 239–242.Xia, Z. Mechanical properties of highly ordered nanoporous anodic aluminia membranes / Z. Xia [et al.] // Rev.Adv.Mat.Sci – 2004. – Vol. 6. – Р. 131–139.Xia, Z. Mechanical properties of highly ordered nanoporous anodic aluminia membranes / Z. Xia [et al.] // Rev.Adv.Mat.Sci – 2004. – Vol. 6. – Р. 131–139.Баркалин, В.В. Иерархическая система моделирования физических процессов и свойств материалов на базе суперкомпьютерной конфигурации СКИФ К-1000 / В.В. Баркалин [и др.] // Научный сервис в сети Интернет: решение больших задач: Труды Всероссийской научной конференции (22–27 сентября 2008 г., г. Новороссийск). – М. : МГУ. – 2008. – С. 101–105.Баркалин, В.В. Иерархическая система моделирования физических процессов и свойств материалов на базе суперкомпьютерной конфигурации СКИФ К-1000 / В.В. Баркалин [и др.] // Научный сервис в сети Интернет: решение больших задач: Труды Всероссийской научной конференции (22–27 сентября 2008 г., г. Новороссийск). – М. : МГУ. – 2008. – С. 101–105.Barkaline, V.V. Molecular dynamics simulation of mechanical properties of carbon nanotubes and their contact interaction with substrate /V.V. Barkaline, A.S. Chashynski, S.A. Chizhik // Proc. SPIE 7377, 737702 (2008).Barkaline, V.V. Molecular dynamics simulation of mechanical properties of carbon nanotubes and their contact interaction with substrate /V.V. Barkaline, A.S. Chashynski, S.A. Chizhik // Proc. SPIE 7377, 737702 (2008).Odegard, G.M. Equivalent-Continuum Modeling with Application to Carbon Nanotubes / G.M. Odegard [et al.]. – NASA/TM-2002-211454, 2002.Odegard, G.M. Equivalent-Continuum Modeling with Application to Carbon Nanotubes / G.M. Odegard [et al.]. – NASA/TM-2002-211454, 2002.Frenkel, D. Understanding Molecular Simulation: From Algorithms to Applications / D. Frenkel, B. Smit. – N.Y. Academic Press, 2002. – 658 p.Frenkel, D. Understanding Molecular Simulation: From Algorithms to Applications / D. Frenkel, B. Smit. – N.Y. Academic Press, 2002. – 658 p.Shaskolskaya, M.P. Acoustic Crystals Handbook, Nauka / M.P. Shaskolskaya. – Moscow, 1982. – 382 р.Shaskolskaya, M.P. Acoustic Crystals Handbook, Nauka / M.P. Shaskolskaya. – Moscow, 1982. – 382 р.Ташкинов, А. А. Прогнозирование эффективных теплофизических характеристик пироуглеродных матриц / А.А. Ташкинов, В.Е. Шавшуков // Математичекое моделирование систем и процессов. – 2002. – № 10. – С. 124– 132.Ташкинов, А. А. Прогнозирование эффективных теплофизических характеристик пироуглеродных матриц / А.А. Ташкинов, В.Е. Шавшуков // Математичекое моделирование систем и процессов. – 2002. – № 10. – С. 124– 132.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.