КОНСТРУИРОВАНИЕ ГАЗОВЫХ МИКРОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Аннотация
Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов.
Об авторах
Е. А. Белогуров
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Я. И. Шукевич
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
А. А. Баркалин
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
В. В. Хатько
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
И. А. Таратын
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Гринчук, А.П. Разработка газовых сенсоров для контроля горючих газов / А.П. Гринчук, И.А. Таратын, В.В. Хатько // Приборы и методы измерений. – 2010. – № 1. – С. 51–55.
2. Khatko, V. Tungsten Trioxide Sensing Layers on Highly Ordered Nanoporous Alumina Templates / Khatko [et al.] // Sensors and Actuators B: Chemical. – 2006. – Vol. 118. – № 1. – P. 255–262.
3. Lang, W. Application porous silicon as a sacrificial layer / W Lang [et al.] // Sensors and Actuators A. – 1994. – Vol. 43. – P. 239–242.
4. Xia, Z. Mechanical properties of highly ordered nanoporous anodic aluminia membranes / Z. Xia [et al.] // Rev.Adv.Mat.Sci – 2004. – Vol. 6. – Р. 131–139.
5. Баркалин, В.В. Иерархическая система моделирования физических процессов и свойств материалов на базе суперкомпьютерной конфигурации СКИФ К-1000 / В.В. Баркалин [и др.] // Научный сервис в сети Интернет: решение больших задач: Труды Всероссийской научной конференции (22–27 сентября 2008 г., г. Новороссийск). – М. : МГУ. – 2008. – С. 101–105.
6. Barkaline, V.V. Molecular dynamics simulation of mechanical properties of carbon nanotubes and their contact interaction with substrate /V.V. Barkaline, A.S. Chashynski, S.A. Chizhik // Proc. SPIE 7377, 737702 (2008).
7. Odegard, G.M. Equivalent-Continuum Modeling with Application to Carbon Nanotubes / G.M. Odegard [et al.]. – NASA/TM-2002-211454, 2002.
8. Frenkel, D. Understanding Molecular Simulation: From Algorithms to Applications / D. Frenkel, B. Smit. – N.Y. Academic Press, 2002. – 658 p.
9. Shaskolskaya, M.P. Acoustic Crystals Handbook, Nauka / M.P. Shaskolskaya. – Moscow, 1982. – 382 р.
10. Ташкинов, А. А. Прогнозирование эффективных теплофизических характеристик пироуглеродных матриц / А.А. Ташкинов, В.Е. Шавшуков // Математичекое моделирование систем и процессов. – 2002. – № 10. – С. 124– 132.
Рецензия
Для цитирования:
Белогуров Е.А., Шукевич Я.И., Баркалин А.А., Хатько В.В., Таратын И.А. КОНСТРУИРОВАНИЕ ГАЗОВЫХ МИКРОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ. Приборы и методы измерений. 2011;(2):59-65.
For citation:
Belahurau Ya.A., Shukevich Ya.I., Barkalin V.V., Khatko V.V., Taratyn I.A. APPLICATION OF NANOPOROUS ANODIC ALUMINA BY GAS MICROSYSTEM DESIGN. Devices and Methods of Measurements. 2011;(2):59-65. (In Russ.)
Просмотров:
756
Послать статью по эл. почте 