ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОИНДУКТОР НА ОСНОВЕ ГИБКОЙ ПОЛИИМИДНОЙ ПЛЕНКИ
Аннотация
Предложен более простой по сравнению с существующими технологиями способ создания трехмерного гибкого высокочастотного микроиндуктора на основе полиимидной пленки с протравленными треками быстрых тяжелых ионов, заполненными проводящим материалом. Создан действующий макет микроиндуктора размером 0,04 мм3, имеющий следующие основные характеристики: плотность обмотки 7 витков/мм при толщине витка 10 мкм, индуктивность 0,3 мГн при добротности 8 на частоте 200 МГц. Показана возможность уменьшения размеров устройства до 10-6 мм3.
Об авторах
А. В. Петров
Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению, г. Минск
Беларусь
Беларусь
С. Е. Демьянов
Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению, г. Минск
Беларусь
Беларусь
Е. Ю. Канюков
Научно-практический центр НАН Беларуси по материаловедению, г. Минск
Беларусь
Беларусь
Д. Финк
Центр по материаловедению и энергетике им. Гельмгольца, г. Берлин
Германия
Германия
Список литературы
1. Yamasawa, K. High frequency operation of a planar-type microtransformer and its application to multilayered switching regulators / K. Yamasawa [et al.] // IEEE Trans. Magn. – 1990. – V. MAG-26. – P. 1204–1209.
2. Yamaguchi, H. Loss characteristics of air-core superconducting transformer / H. Yamaguchi, Y. Sato, T. Kataoka // IEEE Transact. on Magn. – 1992. – V. 28. – P. 2232–2234.
3. Ahn, C.H. A Fully integrated planar toroidal inductor with a Micromachined Ni-Fe Magnetic Bar / C.H. Ahn, Y.J. Kim, M.G. Allen // IEEE Transact. on Components, Packaging and Manufactoring Technology. – 1994. – V. A17. – P. 463–469.
4. Park, J.Y. High current integrated microinductors and microtransformers using low temperature fabrication processes / J.Y. Park, M.G. Allen // Microelectronics International. – 1997. – V. 14. – P. 8–11
5. Basteres, L. Inductor for integrated circuit / L. Basteres [et al.] // US Patent No. 6,456,183 – B1. – 24.09.2002.
6. Sekitani, T. Flexible organic transistors and circuits with extreme bending stability / T. Sekitani [et al.] // Nature Materials. – 2010. – V. 9. – P. 1015–1022.
7. Zschieschang, U. Flexible low-voltage organic transistors and circuits based on a high-mobility organic semiconductor with good air stability /Zschieschang [et al.] // Advanced Materials.– 2010. – V. 22. – P. 982–985.
8. Nakano, Sh. Low operation voltage of inkjetprinted plastic sheet-type micromechanical switches / Sh. Nakano, Ts. Sekitani, T. Yokota, T. Someya // Applied Physics Letters. – 2008. – V. 92. – P. 053302–053307.
9. Fundamentals of Ion-Irradiated Polymers. Ed. By D. Fink. Heidelberg. Springer Series in Materials Science. – V. 63. – 2004.
10. Реутов, В.Ф. Ионно-трековая нанотехнология / В.Ф. Реутов, С.Н. Дмитриев // Российский химический журнал (Журнал Рос. хим. общества им. Д. И. Менделеева). – 2002. – Т. XLVI. – № 5. – С. 74–80.
11. Fink, D. Production parameters for the formation of metallic nanotubules in etched tracks / D. Fink [et al.] // Radiation Measurements. – 2003. – V. 36. – P. 751–755.
12. Lindeberg, M. Interconnected nanowire clusters in polyimide for flexible circuits and magnetic sensing applications / M. Lindeberg, K. Hjort // Sensors and Actuators. – 2003. – V. A105. – P. 150–161.
13. Lindeberg, M. A comprehensive study of ion track enabled high aspect ratio microstructures in flexible circuit boards applications / M. Lindeberg, K. Hjort // Microsystem Technologies. – 2004. – V. 10. – P. 605–621.
14. Toulemonde, M. Track formation and fabrication of nanostructures with MeV – ion beams / M. Toulemonde [et al.] // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. – 2004. – V. 36. – P. 1–8.
15. Saidani, M. Three-dimensional miniaturized power inductors realized in a batch-type hybrid technology / M. Saidani, M.A.M. Gijs // J. Micromech. Microeng. – 2002. – V. 12. – P. 470– 474.
16. Saidani, M. Cubic millimeter power inductor fabricated in batch-type wafer technology / M. Saidani, M.A.M. Gijs // Journal of Microelectromechanical Systems. – 2003. – V. 12. – No. 2. – P. 172–178.
17. Доброневский, О.В. Справочник по радиоэлектронике / О.В. Доброневский. – К. : Вища школа, 1974.
Рецензия
Для цитирования:
Петров А.В., Демьянов С.Е., Канюков Е.Ю., Финк Д. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОИНДУКТОР НА ОСНОВЕ ГИБКОЙ ПОЛИИМИДНОЙ ПЛЕНКИ. Приборы и методы измерений. 2011;(2):27-32.
For citation:
Petrov A.V., Demyanov S.E., Kaniukov E.Yu., Fink D. HIGH-FREQUENCY MICROINDUCTOR ON THE BASE OF FLEXIBLE POLYIMIDE FILM. Devices and Methods of Measurements. 2011;(2):27-32. (In Russ.)
Просмотров:
1931
Послать статью по эл. почте 