DEVICE FOR INVESTIGATION OF MAGNETRON AND PULSED-LASER PLASMA
Abstract
Various modifications of complex pulsed laser and magnetron deposition thin-film structures unit are presented. They include joint and separate variants of layer deposition. Unit realizes the plasma parameters control and enhances the possibility of laser-plasma and magnetron methods of coatings deposition.
About the Authors
A. P. Burmakov
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
V. A. Zaikov
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
F. F. Komarov
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
O. R. Lyudchik
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
D. A. Saladukha
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
References
1. Дьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли. – М. : Мир, 1986.
2. Гончаров, В.К. Определение оптической ширины запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок, полученных лазерно-плазменным осаждением / В.К. Гончаров [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2007. – Т. 74. – № 5. – С. 637– 641.
3. Быковский, Ю.Ф. Лазерная масс-спектрометрия / Ю.Ф. Быковский, В.Н. Неволин. – М. : Энергоатомиздат, 1985.
4. Бурмаков, А.П. Монохроматизация излучения для спектрального контроля плазменных процессов / А.П. Бурмаков, А.А. Лабуда, Н.Н. Никифоренко // ЖПС. – 1998. – Т. 65. – № 4. – С. 587–589.
5. Zabinski, J. Magnetron Sputter-pulsed laser deposition system and method / J. Zabinski [et al.] // Patent USA, US H1933H. – 2001.
6. Jelínek, M. Hybrid Laser-Magnetron Technology for Carbon Composite Coating / M. Jelínek [et al.] // Laser Physics. – 2009. – Vol. 19. – No. 2. – Р. 149–153.
Review
For citations:
Burmakov A.P., Zaikov V.A., Komarov F.F., Lyudchik O.R., Saladukha D.A. DEVICE FOR INVESTIGATION OF MAGNETRON AND PULSED-LASER PLASMA. Devices and Methods of Measurements. 2012;(1):37-40. (In Russ.)
Views:
1023
JATS XML
Email this article 