pimiПриборы и методы измеренийDevices and Methods of Measurements2220-95062414-0473BNTUpimi-112Research ArticleСредства измеренийMeasuring instrumentsУСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННОЙ И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫDEVICE FOR INVESTIGATION OF MAGNETRON AND PULSED-LASER PLASMAБурмаковА. П.BurmakovA. P.lyudchik@tut.byЗайковВ. А.ZaikovV. A.lyudchik@tut.byКомаровФ. Ф.KomarovF. F.lyudchik@tut.byЛюдчикО. Р.LyudchikO. R.lyudchik@tut.byСолодухоД. А.SaladukhaD. A.lyudchik@tut.byБелорусский государственный университетBelarus201224042015013740Copyright © Бурмаков А.П., Зайков В.А., Комаров Ф.Ф., Людчик О.Р., Солодухо Д.А., 20152015Бурмаков А.П., Зайков В.А., Комаров Ф.Ф., Людчик О.Р., Солодухо Д.А.Burmakov A.P., Zaikov V.A., Komarov F.F., Lyudchik O.R., Saladukha D.A.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://pimi.bntu.by/jour/article/view/112

В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав формируемой плазмы как основной компоненты при осаждении тонкопленочных покрытий.

Various modifications of complex pulsed laser and magnetron deposition thin-film structures unit are presented. They include joint and separate variants of layer deposition. Unit realizes the plasma parameters control and enhances the possibility of laser-plasma and magnetron methods of coatings deposition.

магнетроносаждениелазерплазмаспектроскопияmagnetrondepositionlaserplasmaspectroscopyReferencesДьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли. – М. : Мир, 1986.Дьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли. – М. : Мир, 1986.Гончаров, В.К. Определение оптической ширины запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок, полученных лазерно-плазменным осаждением / В.К. Гончаров [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2007. – Т. 74. – № 5. – С. 637– 641.Гончаров, В.К. Определение оптической ширины запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок, полученных лазерно-плазменным осаждением / В.К. Гончаров [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2007. – Т. 74. – № 5. – С. 637– 641.Быковский, Ю.Ф. Лазерная масс-спектрометрия / Ю.Ф. Быковский, В.Н. Неволин. – М. : Энергоатомиздат, 1985.Быковский, Ю.Ф. Лазерная масс-спектрометрия / Ю.Ф. Быковский, В.Н. Неволин. – М. : Энергоатомиздат, 1985.Бурмаков, А.П. Монохроматизация излучения для спектрального контроля плазменных процессов / А.П. Бурмаков, А.А. Лабуда, Н.Н. Никифоренко // ЖПС. – 1998. – Т. 65. – № 4. – С. 587–589.Бурмаков, А.П. Монохроматизация излучения для спектрального контроля плазменных процессов / А.П. Бурмаков, А.А. Лабуда, Н.Н. Никифоренко // ЖПС. – 1998. – Т. 65. – № 4. – С. 587–589.Zabinski, J. Magnetron Sputter-pulsed laser deposition system and method / J. Zabinski [et al.] // Patent USA, US H1933H. – 2001.Zabinski, J. Magnetron Sputter-pulsed laser deposition system and method / J. Zabinski [et al.] // Patent USA, US H1933H. – 2001.Jelínek, M. Hybrid Laser-Magnetron Technology for Carbon Composite Coating / M. Jelínek [et al.] // Laser Physics. – 2009. – Vol. 19. – No. 2. – Р. 149–153.Jelínek, M. Hybrid Laser-Magnetron Technology for Carbon Composite Coating / M. Jelínek [et al.] // Laser Physics. – 2009. – Vol. 19. – No. 2. – Р. 149–153.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.