УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННОЙ И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ
Аннотация
В работе рассмотрены различные модификации установки для импульсного лазерного и магнетронного осаждения тонкопленочных структур с контролируемыми условиями формирования плазменного потока и возможностью исследования параметров плазмы. Предложены варианты для совместного и раздельного осаждения слоев. Разработанная установка расширяет энергетический, зарядовый и элементный состав формируемой плазмы как основной компоненты при осаждении тонкопленочных покрытий.
Об авторах
А. П. Бурмаков
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
В. А. Зайков
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
Ф. Ф. Комаров
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
О. Р. Людчик
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
Д. А. Солодухо
Белорусский государственный университет
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Дьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов / У. Дьюли. – М. : Мир, 1986.
2. Гончаров, В.К. Определение оптической ширины запрещенной зоны алмазоподобных углеродных пленок, полученных лазерно-плазменным осаждением / В.К. Гончаров [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2007. – Т. 74. – № 5. – С. 637– 641.
3. Быковский, Ю.Ф. Лазерная масс-спектрометрия / Ю.Ф. Быковский, В.Н. Неволин. – М. : Энергоатомиздат, 1985.
4. Бурмаков, А.П. Монохроматизация излучения для спектрального контроля плазменных процессов / А.П. Бурмаков, А.А. Лабуда, Н.Н. Никифоренко // ЖПС. – 1998. – Т. 65. – № 4. – С. 587–589.
5. Zabinski, J. Magnetron Sputter-pulsed laser deposition system and method / J. Zabinski [et al.] // Patent USA, US H1933H. – 2001.
6. Jelínek, M. Hybrid Laser-Magnetron Technology for Carbon Composite Coating / M. Jelínek [et al.] // Laser Physics. – 2009. – Vol. 19. – No. 2. – Р. 149–153.
Рецензия
Для цитирования:
Бурмаков А.П., Зайков В.А., Комаров Ф.Ф., Людчик О.Р., Солодухо Д.А. УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ МАГНЕТРОННОЙ И ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ. Приборы и методы измерений. 2012;(1):37-40.
For citation:
Burmakov A.P., Zaikov V.A., Komarov F.F., Lyudchik O.R., Saladukha D.A. DEVICE FOR INVESTIGATION OF MAGNETRON AND PULSED-LASER PLASMA. Devices and Methods of Measurements. 2012;(1):37-40. (In Russ.)
Просмотров:
930
Послать статью по эл. почте 