Для цитирования:

Авсиевич А.M., Таратын И.А., Смалюк А.Ф., Корогвич В.В., Розов Д.В. Анализ механических колебаний мембран микромеханических переключателей ёмкостного типа. Приборы и методы измерений. 2025;16(4):358-367. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-4-358-367

For citation:

Ausiyevich A.M., Taratyn I.A., Smaliuk А.F., Karohvich V.V., Rozau D.V. Analysis of Mechanical Vibrations of Membranes of Capacitive Type Micromechanical Switches. Devices and Methods of Measurements. 2025;16(4):358-367. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-4-358-367