МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАЗИТНОЙ ЕМКОСТИ И НАВОДОК НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ ЗОНДА КЕЛЬВИНА
https://doi.org/10.21122/2220-9506-2014-0-1-17-25
Аннотация
Влияние паразитных емкостей на характеристики чувствительного элемента вибрирующего зонда Кельвина исследовалось с помощью методов математического и компьютерного моделирования. Показано, что присутствие в непосредственной близости от вибрирующего зонда Кельвина металлических поверхностей, в том числе заземленных, приводит к формированию на его входе паразитного сигнала наводки сложного гармонического состава. Среднее значение и амплитуда данного паразитного сигнала зависят главным образом от отношения зазоров в паразитном и измерительном конденсаторах Кельвина d1/d0. Разработанная модель может использоваться для теоретического анализа конструктивных параметров проектируемого зонда Кельвина и входных цепей зондового электрометра.
Об авторах
С. ДэнилакСоединённые Штаты Америки
А. В. Дубаневич
Беларусь
О. К. Гусев
Беларусь
А. И. Свистун
Беларусь
А. К. Тявловский
Беларусь
К. Л. Тявловский
Беларусь
Р. И. Воробей
Беларусь
А. Л. Жарин
Беларусь
Список литературы
1. Noras M.A. Charge Detection Methods for Dielectrics – Overview. Available at: http:// www.trek.com. (accessed 18.03.2012).
2. Taylor D.M. Measuring techniques for electrostatics. Journal of Electrostatics, 2001, no. 52, pp. 502–508.
3. Zharin A. L. Contact Potential Difference Techniques as Probing Tools in Tribology and Surface Mapping, in book: Scanning Probe Microscopy in Nanoscience and Nanotechnology (edited by B. Bhushan), Springer Heidelberg Dordrecht London New York, 2010, pp. 687–720.
4. Baikie I.D., Mackenzie S., Estrup P.J.Z., Meyer J.A. Noise and the Kelvin method Rev. Sci. Instrum, 1991, vol. 62, no. 5, pp. 1326–1332.
5. Hadjadj A., Rota i Cabarrocas P., Equer B. Analytical compensation of stray capacitance effect in Kelvin probe measurements. Rev. Sci. Instrum., 1995, vol. 66, no. 11, pp. 5272–5276.
6. Tyavlovsky A.K., Gusev O.K., Zharin A.L. [Metrological performance modeling of probe electrometers capacitive sensors]. Devices and methods of measurement, 2011, no. 1, pp. 122–127 (in Russian).
7. Tyavlovsky A.K. [Mathematical modeling of a distance dependence of a scanning Kelvin probe lateral resolution]. Devices and methods of measurement, 2012, no. 1, pp. 30–36 (in Russian).
Рецензия
Для цитирования:
Дэнилак С., Дубаневич А.В., Гусев О.К., Свистун А.И., Тявловский А.К., Тявловский К.Л., Воробей Р.И., Жарин А.Л. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАЗИТНОЙ ЕМКОСТИ И НАВОДОК НА ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ ЗОНДА КЕЛЬВИНА. Приборы и методы измерений. 2014;(1):94-98. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2014-0-1-17-25
For citation:
Danyluk S., Dubanevich A.V., Gusev O.K., Svistun A.I., Tyavlovsky A.K., Tyavlovsky K.L., Vorobey R.I., Zharin A.L. KELVIN PROBE’S STRAY CAPACITANCE AND NOISE SIMULATION. Devices and Methods of Measurements. 2014;(1):94-98. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2014-0-1-17-25