Для цитирования:

Лапицкая В.А., Кузнецова Т.А., Чижик С.А. Влияние температуры от 20 до 100 °С на удельную поверхностную энергию и вязкость разрушения пластин кремния. Приборы и методы измерений. 2023;14(4):277-283. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2023-14-4-277-283

For citation:

Lapitskaya V.A., Kuznetsova T.A., Chizhik S.A. Influence of Temperature from 20 to 100 °C on Specific Surface Energy and Fracture Toughness of Silicon Wafers. Devices and Methods of Measurements. 2023;14(4):277-283. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2023-14-4-277-283