Для цитирования:

Солодуха В.А., Пилипенко В.А., Омельченко А.А., Шестовский Д.В. Спектральная эллипсометрия как метод изучения влияния быстрой термообработки кремниевых пластин на их оптические характеристики. Приборы и методы измерений. 2022;13(3):199-207. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2022-13-3-199-207

For citation:

Solodukha V.A., Pilipenko U.A., Omelchenko A.A., Shestovski D.V. Spectral Ellipsometry as a Method of Investigation of Influence of Rapid Thermal Processing of Silicon Wafers on their Optical Characteristics. Devices and Methods of Measurements. 2022;13(3):199-207. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2022-13-3-199-207