КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА ПРИ УМЕНЬШЕНИИ РАЗМЕРОВ ЗОНДА КЕЛЬВИНА
Аннотация
Представлены результаты моделирования измерительной цепи, содержащей динамический конденсатор, методом комплексно-гармонического анализа. Из-за малого значения нормированной частоты вибрации измерительный сигнал зонда Кельвина с чувствительным элементом малых размеров характеризуется значительными гармоническими искажениями, приводящими к резкому увеличению погрешности измерений. Уменьшение погрешностей может быть обеспечено за счет регистрации сигнала на его второй гармонике и контроля величины зазора зонд-образец на основе измерений отношения амплитуд первой и второй гармоники сигнала.
Об авторах
А. К. Тявловский
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
А. Л. Жарин
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Zharin, A. L. Contact Potential Difference Techniques as Probing Tools in Tribology and Surface Mapping // Scanning Probe Microscopy in Nanoscience and Nanotechnology (edited by B. Bhushan). – Springer : Heidelberg, Dordrecht, London, New York, 2010. – P. 687–720.
2. Жарин, А.Л. Метод контактной разности потенциалов и его применение в трибологии / А.Л. Жарин. – Минск : Бестпринт, 1996. – 240 с.
3. Тявловский, А.К. Моделирование метрологических характеристик емкостных первичных преобразователей средств зондовой электрометрии / А.К. Тявловский, О.К. Гусев, А.Л. Жарин // Приборы и методы измерений. – 2011. – № 1(2) – С. 122–127.
4. Taylor, D. M. Measuring techniques for electrostatics / D. M. Taylor // Journal of Electrostatics. – 2001. – № 51–52. – P. 502–508.
5. Surplice, N.A. A critique of the Kelvin method of measuring work functions / N.A. Surplice, R.J. D’Arcy // Journal of Physics E: Scientific Instruments. – 1970. – Vol. 3. – P. 477–482.
6. Baikie, I.D. Noice and the Kelvin method / I.D. Baikie, S. Mackenzie, P.J.Z. Estrup, J.A. Meyer // Rev. Sci. Instrum. – 1991. – № 62 (5). – P. 1326–1332.
Рецензия
Для цитирования:
Тявловский А.К., Жарин А.Л. КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПОТЕНЦИАЛА ПРИ УМЕНЬШЕНИИ РАЗМЕРОВ ЗОНДА КЕЛЬВИНА. . 2013;(2):35-41.
For citation:
Tyavlovsky A.K., Zharin A.L. COMPENSATION OF MEASUREMENT ERRORS WHEN REDUCING LINEAR DIMENSIONS OF THE KELVIN PROBE. . 2013;(2):35-41. (In Russ.)
