Для цитирования:

Холод В.М., Худолей А.Л., Гринчук П.С., Лапицкая В.А. Магнитореологическое полирование поверхностей карбида кремния до ангстремного уровня шероховатости. Приборы и методы измерений. 2025;16(4):417-424. https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-4-417-424

For citation:

Kholad V.M., Khudoley A.L., Grinchuk P.S., Lapitskaya V.A. Magnetorheological Polishing of Silicon Carbide to Angstrom-Scale Surface Roughness. Devices and Methods of Measurements. 2025;16(4):417-424. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2025-16-4-417-424