Чижик, С. А., Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, Беларусь
-
№ 1 (2013) - Средства измерений
КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)
ISSN 2414-0473 (Online)