Вабищевич, С. А., Полоцкий государственный университет, Беларусь
-
Том 7, № 1 (2016) - Методы измерений, контроля, диагностики
СКЛЕРОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОТВЕРДОСТИ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА НА КРЕМНИИ
Аннотация PDF (Rus)
ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)
ISSN 2414-0473 (Online)