Preview

Приборы и методы измерений

Расширенный поиск

ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ

Аннотация

 Предложены принципы построения и структурные схемы зондовых систем для аналитического и межоперационного измерения и контроля быстродействующих микрои наносистем на пластине в наносекундном диапазоне. Определены источники искажений широкополосных сигналов и погрешностей зондовых систем контроля, а также переходные характеристики широкополосных контактирующих устройств для контроля больших интегральных схем (БИС) в наносекундном диапазоне с помощью рефлектометрической установки с пикосекундным временным разрешением. Представлены особенности и определены погрешности прецизионных позиционеров на линейных шаговых двигателях и магнитовоздушной подушке для точного позиционирования зондов на контактные площадки БИС при автоматическом зондировании полупроводниковых пластин.

Об авторах

В. А. Минченко
ГНПО «ПЛАНАР», г. Минск
Беларусь


Г. Ф. Ковальчук
ГНПО «ПЛАНАР», г. Минск
Беларусь


С. Б. Школык
ГНПО «ПЛАНАР», г. Минск
Беларусь


Список литературы

1. Минченко, В.А. Измерение переходной характеристики и задержки широкополосных контактирующих устройств для контроля параметров интегральных микросхем на пластине / В.А. Минченко. // Электронная техника. Сер.8. – 1992. – Вып. 5 (122). – С. 83–86.

2. Минченко, В.А. Увеличение широкополосности контактирующих устройств для контроля БИС на пластине / В.А. Минченко, А.В. Ярош, В.С. Кононов. // Электронная промышленность. – 1991. – № 10. – С. 58–59.

3. Котани. Конструкция и характеристики зондовой установки для низкотемпературных испытаний интегральных структур / Котани. // Приборы для научных исследований. – 1986. – № 1.


Рецензия

Для цитирования:


Минченко В.А., Ковальчук Г.Ф., Школык С.Б. ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ И СТРУКТУРНЫЕ СХЕМЫ ЗОНДОВЫХ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗДЕЛИЙ МИКРОИ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ НА ПЛАСТИНЕ. Приборы и методы измерений. 2012;(2):67-75.

For citation:


Minchenko V.A., Kovalchuk G.F., Shkolyk S.B. DESIGN PRINCIPLES AND BLOCK SCHEMES OF THE PROBE AUTOMATIC INSPECTION SYSTEMS FOR MICROAND NANOELECTRONICS ON A WAFER. Devices and Methods of Measurements. 2012;(2):67-75. (In Russ.)

Просмотров: 2763


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2220-9506 (Print)
ISSN 2414-0473 (Online)